【技术实现步骤摘要】
一种刻蚀设备约束环的制造工艺
本专利技术涉及一种刻蚀设备精密零部件,是干法刻蚀设备中用于控制等离子体的均匀性和压强水平的关键核心零部件。
技术介绍
气体与射频功率相互作用形成的等离子体通过约束环控制进而形成约束腔区域。本专利技术重点结介绍了一款约束环零件的机械加工,精密清洗,硬质阳极,氧化钇喷涂等多种制造工艺。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种刻蚀设备约束环的制造工艺。本专利技术采用的技术方案是:一种刻蚀设备约束环的制造工艺,集精密加工,精密清洗,硬质阳极,氧化钇涂层多种先进工艺于一体的关键零部件制造工艺;其中在零件的机械加工过程,精密加工采用精车环槽;环槽的尺寸外径直径为φ500mm圆,环槽宽度2.5±0.01mm,共有10组环槽,层层相连,形成约束环;环槽的精密加工使用刀具为名古屋刀具。精密清洗具体要求为:高压清洗40-60',950-1050psi,保湿转入百级无尘室2-20',超声波清洗,震荡15-20',浸泡90-95',8-12W/in2;重复高压清洗40-60',950-1050psi,超声波清洗,震荡15-20',浸泡60-75',8-12W/in2循环两次,备注:水温小于50℃。硬质阳极工艺:电流密度2.5A/dm2,升流20min,温度-1~1℃;脱脂10-30',70-75℃,水洗60-90",碱咬10-80",32-38℃;碱水洗60-90",酸洗5-20",酸水洗60-90",硬阳,水洗60- ...
【技术保护点】
1.一种刻蚀设备约束环的制造工艺,其特征在于,集精密加工,精密清洗,硬质阳极,氧化钇涂层多种先进工艺于一体的关键零部件制造工艺;/n其中在零件的机械加工过程,精密加工采用精车环槽;环槽的尺寸外径直径为φ500mm圆,环槽宽度2.5±0.01mm,共有10组环槽,层层相连,形成约束环;环槽的精密加工使用刀具为名古屋刀具。/n
【技术特征摘要】
1.一种刻蚀设备约束环的制造工艺,其特征在于,集精密加工,精密清洗,硬质阳极,氧化钇涂层多种先进工艺于一体的关键零部件制造工艺;
其中在零件的机械加工过程,精密加工采用精车环槽;环槽的尺寸外径直径为φ500mm圆,环槽宽度2.5±0.01mm,共有10组环槽,层层相连,形成约束环;环槽的精密加工使用刀具为名古屋刀具。
2.按照权利要求1所述一种刻蚀设备约束环的制造工艺,其特征在于,精密清洗具体要求为:
高压清洗40-60',950-1050psi,保湿转入百级无尘室2-20',超声波清洗,震荡15-20',浸泡90-95',8-12W/in2;
重复高压清洗40-60',950-1050psi,超声波清洗,震荡15-20',浸泡60-75',8-12W/in2循环两次,备注:水温小于50℃。
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【专利技术属性】
技术研发人员:李文明,郑广文,张少杰,
申请(专利权)人:沈阳富创精密设备有限公司,
类型:发明
国别省市:辽宁;21
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