【技术实现步骤摘要】
一种不锈钢水冷基座环及其焊接工艺方法
本专利技术涉及真空装备焊接领域，具体为一种不锈钢水冷基座环及其焊接工艺方法。
技术介绍
真空装备在航空航天、IC装备制造等领域范围应用广泛。常见的各种热处理炉，半导体装备等均需要有精密的冷却装置。水冷基座作为真空装备中的重要部件，其尺寸要求严格，焊接质量要求较高，因此水冷基座的焊接工艺是保证产品质量的重要环节。不锈钢具有良好的耐蚀性、耐热性、机械性能及焊接性等优点，因此大多数水冷基座均采用不锈钢材质进行制造。目前的水冷基座焊接工艺方法通常采用传统的弧焊进行连接与密封。对于熔深为3mm左右的不锈钢水冷基座，氩弧焊通常需要焊接两遍才能够将3mm深的坡口填满，而且焊接变形较大，对后续的精加工会造成很大难度，焊后的零件尺寸精度无法保证。而且氩弧焊的热影响区较宽，基座环盖板宽度较窄的时候通常会出现热影响区重叠，热影响区软化严重，影响产品的力学性能。不锈钢的激光焊接与氩弧焊等方法相比，焊接速度快、效率高，深宽比大，且焊缝热影响区窄、变形较小，焊接质量好，对于结构复杂的零件及精度要求高的零件具...
【技术保护点】
1.一种不锈钢水冷基座环，其特征在于：/n水冷基座环由两部分组成，分别是水冷基座、基座环盖板，装配后在水冷基座侧壁形成焊接结构。/n
【技术特征摘要】
1.一种不锈钢水冷基座环，其特征在于：
水冷基座环由两部分组成，分别是水冷基座、基座环盖板，装配后在水冷基座侧壁形成焊接结构。
2.根据权利要求1所述的一种不锈钢水冷基座环，其特征在于：
水冷基座厚度为25mm，基座环盖板宽度为10mm，基座环盖板厚度为3mm。
3.根据权利要求1所述的一种不锈钢水冷基座环，其特征在于：
水冷基座环上表面在盖板两端部相应位置均布进水口与出水口，与水冷基座内部水道相通。
4.根据权利要求1所述的一种不锈钢水冷基座环，其特征在于：基座环盖板是非封闭的圆环，开口处两端分别加工成单V型坡口。
5.根据权利要求1所述的一种不锈钢水冷基座环，其特征在于：激光焊接接头形式为对搭接，搭接宽度为0.5mm以上，组对间隙小于0.3mm。
6.根据权利要求1所述的一种不锈钢水冷基座环的焊接工艺方法，其特征在于：
采用钨极氩弧焊焊接盖板端部直线焊缝并点固盖板，焊接参数为：直流正接，焊接电流100A-120A，电压17V-18V，焊丝为ER308，氩气流量8-10L/min。
7.根据权利要求1所述的一种不锈钢水冷基座环的焊接工艺方法，其特征在于：
...
【专利技术属性】
技术研发人员：祝影，韦宝权，李生智，张庆锋，郝运，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
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