【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种质谱分析的气体取样测试方法，特别涉及一种用于对多路气体质谱分析时，解决质谱数据拖尾现象的气体取样测试方法。
技术介绍
在我国航天器密封性测试中，需要对不同容器内泄漏的微量测试气体(如氦气、 氪气、氩气等)的含量进行对比测试，而且该含量的差别在质谱分析仪器内的显示量级为 10_9Pa.m3/s附近。由于含量非常小，微小的流量差别会导致测试对比结果相差较大，从而对于高灵敏度质谱分析不能针对每路样气都使用一个微孔或毛细管的方法进行取样。为了保证对各容器内取样后进入质谱分析仪的气体流量相同且稳定，国内的质谱分析仪一般是各路气体分别进行测试，且测试时必须通过同一微孔或毛细管进入质谱分析仪。由于微孔或毛细管与取样阀门之间有一段小空间，且微孔或毛细管的流量非常小，导致每次切换下一路测试之后需要等待较长时间才能去除上次残留气体的影响，造成读数时间长，且对于含量接近的两路无法判断是否完成切换等问题。同时在测试时，会出现上一路气体进入下一路气体容器的串流情况。针对该问题，需要提出一种解决办法，避免串流现象，使得在每次切换下一路测试之后无需等待较长的时间，解决了拖尾...
【技术保护点】
多路气体质谱分析中无拖尾现象的气体取样测试方法，包括以下流程：1）构建多路气体质谱分析的气体取样测试系统，该系统包括质谱分析仪，质谱分析仪的测试口连接有并联的清除阀与微孔或毛细管，清除阀与微孔或毛细管的另一端分别连接有并联的多个气路取样阀，储气容器中的被测气体通过气体过滤器后进入循环泵，再循环回到储气容器构成采样系统管路，多个气路取样阀的另一端分别对应连接到多种被测气体的多个采样系统管路的气体过滤器与循环泵之间；2）启动质谱分析仪，待质谱分析仪读数稳定后，读取质谱分析仪的质谱读数初始值；3）开启多种被测气体的多路采样系统管路上的循环泵进行采样；4）打开清除阀，保持各个气路取...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：钟亮，王静涛，王健，孙立臣，闫荣鑫，
申请(专利权)人：北京卫星环境工程研究所，
类型：发明
国别省市：
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