用于红外线传感器的传感器部件及其制造方法技术

本发明专利技术涉及一种用于红外线传感器的传感器部件，包括一个IR敏感的检测器(1)、至少一个辐射IR射束的参考源(2)、以及一个IR敏感的参考检测器(3)，它在入射的IR射束的方向上离开检测器(1)一定距离，其中，该至少一个参考源(2)设置在参考检测器(3)的侧旁，还包括一个载体(5)，在其第一侧面(6)上设置检测器(1)、至少一个参考源(2)和参考检测器(3)，其中，载体(5)包括一个在局部区段弯曲的用柔韧材料制成的坯件，特别是包括一个柔性印刷电路板的在局部区段弯曲的坯件。由此本发明专利技术实现了提供一种可按照简单方法制造的用于IR传感器的三维传感器部件之目的。另外本发明专利技术还涉及一种用以制造该传感器部件的方法以及涉及一种IR传感器。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种传感器部件，包括一个IR敏感的检测器、至少一个辐射IR射束的 参考源、以及一个IR敏感的参考检测器。另外，本专利技术还涉及一种根据权利要求12所述的 IR传感器以及一种根据权利要求13所述的用以制造传感器部件的方法。
技术介绍
从现有技术已知用于IR传感器的三维结构的传感器部件，其例如在一个作为用 于检测器、参考检测器和参考源的载体的半导体衬底上构造。这种传感器部件的制造花费 很大，特别是在涉及大批量制造时。借助MID (Molded Interconnect Device (模制互联设备))技术虽然例如能够通 过热冲压、激光结构化、在使用掩膜或者背衬喷射薄膜的情况下制造三维的电子组件，但是 用于IR传感器的传感器部件由于仅有很小的尺寸(对于传感器部件总共几个毫米，对于检 测器或者参考源也许小于I毫米)，所以在制造大的零件数量的情况下并不可靠。
技术实现思路
专利技术目的本专利技术的目的在于，提供一种可按照简单方法制造的用于IR传感器的三维的传 感器部件。专利技术概述根据本专利技术，上述目的通过一种例如根据权利要求13所述的方法制造的根据权 利要求I所述的传感器部件得以实现。载体可以作为基本上平的二维的坯件提供，在它的第一侧面上设置检测器、至少 一个参考源和参考检测器，其中，该载体包括一个在局部区段弯曲的用柔韧材料制成的坯 件，特别是包括一个柔性印刷电路板的在局部区段弯曲的坯件，其中，在本方法的进一步实 施执行当中通过弯折或弯曲载体本体的一些区段而构成三维的传感器部件。在柔性印刷电路板上在一个公共的第一侧面上固定检测器、参考检测器以及至少 一个参考源，该柔性印刷电路板在大的零件数量的情况下存在，并且已经具有能够彼此连 接检测器、参考检测器以及至少一个参考源或者连接后接的电子设备的电气连接。在这种 柔性印刷电路板上能够通过粘接固定以及借助压焊电气连接检测器、参考检测器以及至少 一个参考源。优选规定载体的本体包括一个在入射的射束的方向上延伸的主区段以及一个检 测器区段，其中检测器在检测器区段上设置，并且检测器区段从主区段在第二弯曲棱缘处 以一个角度特别是基本上成直角旁伸。在执行本方法时，在一个方法步骤中使检测器区段 从载体的本体的主区段通过弯曲而旁伸，由此构成第二弯曲棱缘。优选规定载体的本体包括一个在入射的射束的方向上延伸的主区段以及一个参 考区段，其中参考区段设置在悬伸臂上，其中悬伸臂与主区段连接，并且其中参考区段在第一弯曲棱缘处从悬伸臂以一个角度特别基本成直角旁伸。在执行本方法时，在一个方法步 骤中将参考区段通过弯曲在构成第一弯曲棱缘的情况下从悬伸臂旁伸，由此弯曲的悬伸臂 保证，围绕第二弯曲棱缘弯曲的检测器区段在入射的射束的方向上与参考区段隔开设置。 这里检测器区段和参考区段构成三维的传感器部件的基本平行的、并且在入射的射束的方 向上沿载体的本体的主区段的延伸错开的区段，它起先是构造为二维的平的、在其上已经 固定了检测器、参考检测器和至少一个参考源的坯件。优选规定参考区段具有圆弓形的外形轮廓。圆弓形的外形轮廓保证，参考区段已 经完成了制造的传感器部件能够在作为IR传感器的组成部分的套管内容纳。外形轮廓的 圆弓的半径对于要弯成环段的悬伸臂的弯曲半径如此选择，即，使得参考区段能够在悬伸 臂内部得以容纳。优选规定悬伸臂成环段形弯曲。弯曲的悬伸臂在侧向限定传感器部件的边界并 且例如以一定的预应力贴靠在一套管的内壁上，传感器部件总体设置在该套管中。优选规定悬伸臂基本上构造成L形，其中，在短臂的一端设置参考区段，并且在 长臂的一端设置主区段。悬伸臂的L形的结构保证参考区段在构成第一弯曲棱缘以及在 将悬伸臂的长区段弯曲成环段后对于检测器区段基本上平行地并且在入射的射束的方向 上错开地设置。优选规定传感器部件包括一个镜面元件，其中该镜面元件在载体的与载体的第 一侧面相对的第二侧面上与参考检测器以及上述至少一个参考源相对设置。关于该镜面元 件优选规定该镜面元件在检测器区段的与检测器相对的侧面上设置。关于该镜面元件特 别优选规定该镜面元件通过载体的一个材料区段、特别是通过一个包括一金属层的柔性 印刷电路板的一个剥露的金属区段构成。优选规定主区段具有横向于它的延伸方向的弯度。载体的本体的具有弯度的主 区段加固了传感器部件，并且例如能够贴靠于在其内容纳该传感器部件的套管上，以便构 成IR传感器。优选规定主区段包括一个展宽的区段。在该展宽的区段上可以提供另外的电子 元件，特别可以在构成弯曲棱缘或者弯曲悬伸臂之前或者在使主区段形成弯度之前给载体 的平的坯件提供电子元件。该展宽的区段同样有助于在机械上如此加固传感器部件，使得 在将传感器部件继续加工成传感器时简化操作处理工作。另外，本专利技术涉及一种方法，用它例如可制造根据权利要求1所述的传感器部件， 包括如下步骤准备一个用一种柔韧材料制成的基本平的区段，特别是一个柔性印刷电路板的平 的区段，作为载体，在载体的本体的第一区段上、特别是在载体的本体的检测器区段上固定一个IR 敏感的检测器，在载体的本体的第二区段上、特别是在参考载体上固定至少一个辐射IR射束的 参考源以及一个IR敏感的参考检测器，其中，该第二区段或者参考载体通过悬伸臂与载体 的本体的主区段连接，构造第一弯曲棱缘，通过它使第二区段从悬伸臂旁伸，将悬伸臂弯曲成一个环段，构造第二弯曲棱缘，通过它使第一区段从载体本体的其余部分旁伸，特别是通过 它使检测器区段从主区段旁伸，其中，第一弯曲棱缘、第二弯曲棱缘的构造和悬伸臂的弯曲这样进行，使得在射束 的入射方向上检测器离开带有参考传感器以及至少一个参考源的旁伸的区段一定的距离在该方法中，从一个平的、二维的载体出发，该载体尚作为平的初始产品被装备有 检测器、参考检测器和至少一个参考源的(其中，装备的顺序是任意的)，然后通过构成两 个弯曲棱缘以及弯曲悬伸臂而产生三维的最终产品，该最终产品可以作为传感器部件装入 IR传感器内。这里，第一弯曲棱缘或者第二弯曲棱缘的构造或者将悬伸臂弯曲成环段所依 循的具体顺序不是决定性的。本专利技术的其他优点和特征可以从各从属权利要求以及从针对实施例的说明中得 到。附图说明下面参照附图详细解释和说明本专利技术。图1表示一个根据本专利技术的方法的示例性实施方式制造的本专利技术的传感器部件 的实施例的透视图，图2表示图1的实施例的侧透视图，图3表示图1和图2的实施例的俯视图，以及图4表示一个中间产品的俯视图，其在执行本专利技术的方法时在制造在图1到图3 中表不的实施例时产生。具体实施方式图1表示用于未继续表示的红外线传感器的传感器部件，其中该传感器部件的本 体包括一个IR敏感的检测器I ;多个辐射IR射束的参考源，其中仅表示出一个并且配有附 图标记“2”;以及一个IR敏感的参考检测器3，其在入射的IR射束的方向(箭头4)上离开 检测器I一定距离。参考源2设置在参考检测器3的侧旁。另外该传感器部件包括一个载 体5，其中在第一侧面6的面上设置检测器1、参考源2和参考检测器3。载体5包括一个在 局部区段弯曲的用柔韧材料制成的坯件，亦即一个柔性印刷电路板的弯曲的坯件。载体5的本体包括一个在入射的射束的方向(箭头4)上延伸的主区段7以及一 个检测器区段8，其中，检测器I在检测器区段8上设置，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.04.15 DE 102010015084.31.用于红外线传感器的传感器部件，包括 一个IR敏感的检测器(1)， 至少一个辐射IR射束的参考源(2)，以及 一个IR敏感的参考检测器(3)，该参考检测器在入射的IR射束的方向上离开所述检测器⑴一定距离， 其中，该至少一个参考源(2)设置在所述参考检测器(3)的侧旁，并且包括一个载体(5)，在其第一侧面(6)上设置所述检测器(I)、所述至少一个参考源(2)和所述参考检测器(3)，其中，所述载体(5)包括一个在局部区段弯曲的用柔韧材料制成的坯件，特别是包括一个柔性印刷电路板的在局部区段弯曲的坯件。2.根据权利要求1所述的传感器部件，其特征在于，所述载体(5)的本体包括一个在入射的射束的方向上延伸的主区段(7)以及一个检测器区段(8)，其中，所述检测器(I)设置在所述检测器区段(8)上，并且，所述检测器区段(8)从所述主区段(7)在第二弯曲棱缘(9)处以一个角度旁伸。3.根据权利要求1或2所述的传感器部件，其特征在于，所述载体(5)的本体包括一个在入射的射束的方向上延伸的主区段(7)以及一个参考区段(10)，其中，所述参考区段(10)设置在一悬伸臂(11)上，其中，所述悬伸臂(11)与所述主区段(7)连接，并且所述参考区段(10)在第一弯曲棱缘(12)处从所述悬伸臂(11)以一个角度旁伸。4.根据权利要求3所述的传感器部件，其特征在于，所述参考区段(10)具有圆弓形的外形轮廓。5.根据权利要求3或4所述的传感器部件，其特征在于，所述悬伸臂(11)成环段形弯曲。6.根据权利要求3到5之一所述的传感器部件，其特征在于，所述悬伸臂(11)基本上成L形构造，其中，所述参考区段(11)设置在一短臂(15)的末端，并且所述主区段(7)设置在一长臂(16)的末端。7.根据权利要求1到6之一所述的传感器部件，还包括一个镜面元件，该镜面元件在所述载体(5)的与该载体(5)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：M·卡拉姆，G·勒纳，
申请(专利权)人：谢夫勒科技股份两合公司，卡尔·弗罗伊登伯格公司，
类型：
国别省市：