物理量传感器及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种能同时检测多个物理量的物理量传感器及其制造方法。整体上具有可挠性或者柔性的物理量传感器（100）具备：基板（1）；电极层（2），其形成在基板（1）上；压电元件（3a）和压电元件（3b），并列设置在电极层（2）上；电极层（4a、4b），分别在压电元件（3a、3b）上形成；保护层（5a、5b、5c、5d、5e），用于保护电极层（2）、压电元件（3a、3b）以及电极层（4a、4b）。另外，第一物理量检测部（6）包括基板（1）、电极层（2）、压电元件（3a，第一压电元件）、电极层（4a，第三电极层）以及保护层（5a、5b、5c、5d、5e）；第二物理量检测部（7）包括基板（1）、电极层（2）、压电元件（3b，第二压电元件）、电极层（4b，第四电极层）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种用于计测多个物理量的。
技术介绍
在现有技术中，如下述专利文献I公开的传感器般，如下的传感器已被公知通过检测压力能够同时检测压觉和滑觉两方面，并且还能检测表面的凹凸状态。现有技术文献专利文献专利文献1:特开2002-31574号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是，近年对如下传感器的需求与日剧增不仅是压力检测功能，而且还要从被测物检测其他物理量，从而检测被测物的状态的传感器。例如，优选用一个传感器检测来自被测物的压力，并检测被测物的弯曲动作的位移等。此处，本专利技术的目的在于提供一种能够同时检测多个物理量的。解决课题的方法(I)本专利技术的物理量传感器具备第一物理量检测部和第二物理量检测部，所述第一物理量检测部具有第一电极层；第一压电兀件，其设置在所述第一电极层上；第二电极层，其设置在所述第一压电元件上，所述第二物理量检测部具有第三电极层；第二压电元件，其设置在所述第三电极层上；第四电极层，其设置在所述第二压电元件上，第一压电元件配置成所述第一压电元件的厚度方向中心线与所述第一物理量检测部的厚度方向中心线大致一致或者相一致的形式，第二压电元件配置成所述第二压电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.06.22 JP 2010-1419231.一种物理量传感器，其特征在于，具备第一物理量检测部和第二物理量检测部，所述第一物理量检测部具有第一电极层；第一压电元件，其设置在所述第一电极层上；第二电极层，其设置在所述第一压电元件上，所述第二物理量检测部具有第三电极层；第二压电元件，其设置在所述第三电极层上；第四电极层，其设置在所述第二压电元件上，第一压电元件配置成所述第一压电元件的厚度方向中心线与所述第一物理量检测部的厚度方向中心线大致一致或者相一致的形式，第二压电元件配置成所述第二压电元件的厚度方向中心线偏离于所述第二物理量检测部的厚度方向中心线的形式。2.权利要求1所述的物理量传感器，其特征在于，并列设置有所述第一物理量检测部和所述第二物理量检测部，并且所述第一电极层的一部分和所述第三电极层的一部分...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋永刚，通口行平，滨田浩幸，前中一介，
申请(专利权)人：独立行政法人科学技术振兴机构，
类型：
国别省市：