一种PECVD承载盘传动轴密封装置制造方法及图纸

本发明专利技术系提供一种PECVD承载盘传动轴密封装置，通过腔壁鸠尾槽内坎O型密封圈及传动轴外罩及外盖，同时外罩及外盖的接触面也设有鸠尾槽内坎O型密封圈，形成一密闭小腔室，外罩下方开有DN40抽气口，用以连接真空帮浦，以排出传动轴小腔室内的气体，形成一定程度的压力。本发明专利技术可完全取代真空用磁流体密封轴的使用，大幅减少PECVD建置成本，且结构简单，安装容易，对于后续的维修保养时间也可以大幅缩减。

【技术实现步骤摘要】
—种PECVD承载盘传动轴密封装置
本专利技术关于一种PECVD承载盘传动轴密封装置的方法。
技术介绍
当前，PECVD承载盘传动轴密封方式皆采用外购磁流体密封轴进行转轴密封，磁流体内部圆环形永久磁铁，极靴和转轴所构成的磁性回路，在磁铁产生的磁场作用下，把放置在轴与极靴顶端缝隙间的磁流体加以集中，使其形成一个所谓的“O”形环，将缝隙通道堵死而达到密封的目的。此结构复杂，外购单价高，通常一整条PECVD产线需要4(Γ50具磁流体轴密封传动轴,如此一来建置成本相对增加,且磁流体密封传动轴会有退磁的风险,届时需要全部更新，对后续的维护保养上也增加相当大的成本。
技术实现思路
本专利技术在于提供一种便捷密封的方式取代磁流体密封传动轴，节省建置成本，同时后续保养为后也相当简单。为了达到上述目的，本专利技术所采用的技术方案是一种PECVD承载盘传动轴密封装置，其包括一腔壁鸠尾槽内坎O型密封圈，传动轴凹型结构，以及传动轴外罩及外盖组成，传动轴外罩与外盖接触面上设有鸠尾槽内坎O型密封圈进行密封。组装时传动轴套上O型密封圈插入凹型结构内进行第一阶段密封，传动轴外罩及外盖组合上后形成第二阶段密封，同时外罩下本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种PECVD承载盘传动轴密封装置，其特徵在于设置的腔壁鸠尾槽内坎O型密封圈以及传动轴外罩和外盖。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：