【技术实现步骤摘要】
—种PECVD承载盘传动轴密封装置
本专利技术关于一种PECVD承载盘传动轴密封装置的方法。
技术介绍
当前，PECVD承载盘传动轴密封方式皆采用外购磁流体密封轴进行转轴密封，磁流体内部圆环形永久磁铁，极靴和转轴所构成的磁性回路，在磁铁产生的磁场作用下，把放置在轴与极靴顶端缝隙间的磁流体加以集中，使其形成一个所谓的“O”形环，将缝隙通道堵死而达到密封的目的。此结构复杂，外购单价高，通常一整条PECVD产线需要4(Γ50具磁流体轴密封传动轴,如此一来建置成本相对增加,且磁流体密封传动轴会有退磁的风险,届时需要全部更新，对后续的维护保养上也增加相当大的成本。
技术实现思路
本专利技术在于提供一种便捷密封的方式取代磁流体密封传动轴，节省建置成本，同时后续保养为后也相当简单。为了达到上述目的，本专利技术所采用的技术方案是一种PECVD承载盘传动轴密封装置，其包括一腔壁鸠尾槽内坎O型密封圈，传动轴凹型结构，以及传动轴外罩及外盖组成，传动轴外罩与外盖接触面上设有鸠尾槽内坎O型密封圈进行密封。组装时传动轴套上O型密封圈插入凹型结构内进行第一阶段密封，传动轴外罩及外盖组合上后形成第二阶段密封，同时外罩下方开有DN40抽气口连接真空帮浦进行抽气，使传动轴腔室内的气体被排出形成一定程度的压力完成传动轴密封功能。·本专利技术有益效果为1.本专利技术利用二阶段密封结构进行传动轴密封，结构简单， 不需要安装市售磁流体密封轴。2.本专利技术利用O型密封圈进行密封，后续维护保养只需更换O型密封圈即可，节省保养成本。具体实施方式下面结合附图对本专利技术做进一步说明。请参阅第一图所示，一种PE...
【技术保护点】
一种PECVD承载盘传动轴密封装置，其特徵在于设置的腔壁鸠尾槽内坎O型密封圈以及传动轴外罩和外盖。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：周文彬，刘幼海，刘吉人，
申请(专利权)人：吉富新能源科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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