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本发明系提供一种PECVD承载盘传动轴密封装置，通过腔壁鸠尾槽内坎O型密封圈及传动轴外罩及外盖，同时外罩及外盖的接触面也设有鸠尾槽内坎O型密封圈，形成一密闭小腔室，外罩下方开有DN40抽气口，用以连接真空帮浦，以排出传动轴小腔室内的气体，形...
该专利属于吉富新能源科技(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过吉富新能源科技(上海)有限公司授权不得商用。

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