【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种三线摆串联空气弹簧隔振机构，用于隔离来自外界垂直和水平方 向的振动。该隔振机构主要应用于光学、超精密检测、超精密加工等领域。
技术介绍
当前，国内外精密仪器行业特别是涉及到超精密加工、制造及光学领域正迅猛发 展，与此同时，环境干扰对该行业的影响愈加不可忽视，隔振成为一种最有效最实用的方 法，其中被动隔振使用非常广泛。振动大体分为垂直和水平方向三个自由度，目前使用最广泛的垂直方向振动机构 当属空气弹簧，其具有制造加工简单、成本低廉、隔振性能好等突出优点。水平隔振机构有 层合橡胶、三线摆、倒摆、正倒摆结合等形式，其固有频率均与摆长有关，固有频率降低意味 着摆长必须增加，同时机构高度会上升，不利于系统的稳定。
技术实现思路
本专利技术的目的是提出一种低频三自由度隔振机构，可同时实现垂直和水平方向三 个自由度的振动隔离。本专利技术的实现技术方案如下一种三线摆串联空气弹簧隔振机构，所述的三线摆串联空气弹簧隔振机构包括空 气弹簧和三线摆两个部分，所述的空气弹簧包括橡胶活塞、主腔室、节流孔和附加腔室，主 腔室下部和附加腔室上部通过节流孔连通；所述的三线摆包括上摆...
【技术保护点】
一种三线摆串联空气弹簧隔振机构，所述的三线摆串联空气弹簧隔振机构包括空气弹簧和三线摆两个部分，所述的空气弹簧包括橡胶活塞（1）、主腔室（2）、节流孔（3）和附加腔室（4），主腔室（2）下部和附加腔室（4）上部通过节流孔（3）连通；所述的三线摆包括上摆盘（7）、摆线（6）、摆杆和下摆盘（5）；其特征在于：所述的附加腔室（4）作为三线摆摆杆，附加腔室（4）下端与下摆盘（5）连接，所述的摆线（6）的上下两端分别与上摆盘（7）和下摆盘（5）连接，摆线（6）上下连接点对应且均匀分布于上摆盘（7）和下摆盘（5）的两个圆周上，所述主腔室（2）、附加腔室（4）、上摆盘（7）和下摆盘（5）竖直同心安装。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱煜，徐登峰，黎远成，曹胜，闫永固，管高峰，李强，董桂清，雷忠兴，荆新丽，
申请(专利权)人：清华大学，北京华卓精科科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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