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一种三线摆串联空气弹簧隔振机构,涉及一种精密仪器加工、制造、测量及光学平台隔振器。该发明包括空气弹簧和三线摆两个部分,其中空气弹簧包括橡胶活塞、主腔室、节流孔和附加腔室,三线摆包括上摆盘、摆线、摆杆和下摆盘,主腔室下部和附加腔室上部通过节流...该专利属于清华大学;北京华卓精科科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过清华大学;北京华卓精科科技有限公司授权不得商用。
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一种三线摆串联空气弹簧隔振机构,涉及一种精密仪器加工、制造、测量及光学平台隔振器。该发明包括空气弹簧和三线摆两个部分,其中空气弹簧包括橡胶活塞、主腔室、节流孔和附加腔室,三线摆包括上摆盘、摆线、摆杆和下摆盘,主腔室下部和附加腔室上部通过节流...