成膜方法技术

本发明专利技术提供一种不论成膜用工件的形状、构造如何一旦搬入成膜室就能够直接进入成膜动作的成膜方法。注塑成型成膜用工件（W）时，将辅助部件（1、2）和成膜用工件（W）成型为一体，其中辅助部件在将该成膜用工件搬入成膜室（11）内而安置在成膜台（12）上时将成膜用工件保持为其成膜面或成膜部（A’、B’、C’）和靶材料（14）相对的规定姿势，将其搬入成膜室进行成膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，将树脂制的基板那样的成膜用工件搬入真空室或成膜室，然后在搬入的工件的规定面上形成薄膜。
技术介绍
作为在成膜用工件的表面的一部分上具有数微米级的薄膜的制品，例如可以列举装备在机动车上的前车灯。该前车灯通过蒸镀装置或者成膜装置来制造，成膜装置也适用于磁盘的生成、CD/DVD的记录面的金属膜的生成、液晶显示装置的透明电极的生成、和光催化膜的生成。具有这样的薄膜的制品是通过注塑成型来形成基板，然后将不需要的部分进行掩蔽等，再安置到专用的成膜室，接着通过如后述的成膜要素形成薄膜。另外，保护基板上的有机发光层的保护膜也是通过同样的成膜装置形成的。 这种在基板的表面上形成薄膜的蒸镀方法或，过去已知的有例如，喷镀法方法，将成膜用工件即基板的表面和靶材料相对布置，在数Pa至数十Pa左右的氩气环境中，向靶材料施加数kV的负电压，然后放电形成薄膜；电子束蒸镀方法，在真空室里，将从电子枪中产生的电子束照射到靶材料上，使加热蒸发，在工件的表面上成膜；离子镀方法，向基板施加数kV的负电压，在数Pa的氩气的压力下真空蒸镀；和等离子等，另外还已知有化学蒸镀法。作为用于这样的的靶材料，已知有氧化物、氮化物、和碳化物等的化合物靶，还已知有金属靶、粉末靶等。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2008-221575号公报专利文献2 :日本特开平11-80927号公报专利文献I中公开了一种成膜装置，将通过固定侧模具和移动模具成型的一对半中空体的一个半中空体的内表面即成膜用工件的表面，在留存于固定侧模具的状态下，用设有靶电极、基板电极、和真空吸引管等的蒸镀要素的蒸镀室来覆盖，在固定侧模具内蒸镀。专利文献2中公开了一种成膜装置，用兼具掩蔽机能的接地屏蔽材料来覆盖成膜室的重要部分。
技术实现思路
专利技术要解决的问题根据专利文献I所示的蒸镀装置，可得到下述效果，能够使用蒸镀室在模具内进行蒸镀而无需将工件从模具中取出，所以蒸镀的表面不会被污垢、尘土等污染，能够得到具有蒸镀状态良好的高品质的薄膜的制品。此外，在留存于模具内的状态下，在模具内蒸镀，所以半中空体的库存管理变得不需要。而且，只准备蒸镀装置，不用使用特别的模具，就能得到能够廉价地进行自动成型的效果。然而，也有应该改良的方面。例如，在模具里成型工件的时机和使用蒸镀室蒸镀的时机不一致，所以为了使时机匹配将产生等待时间，不能有效率地制造。另外，因为必须将蒸镀室的开口部紧贴在模具的分离面上而在内部形成真空室，所以存在密封的问题。即，因为真空度对制品的质量产生影响，所以要求高密封性，但蒸镀室的开口部和模具的分离面，按照目的，是相互不同的部件，以不同的方式构成，所以密封将成问题。而且，为了将覆盖模具凹部的大的蒸镀室在模具间放进取出，模具的开模量变大，为此存在放进取出蒸镀室的机器人也将变大的问题。根据以上的理由，可以说所希望的是将在模具里成型的成膜用工件，从模具里取出，搬入到专用的 成模装置，然后进行成膜。特别地，工件是平板状的，且成膜的部分是平面的时候，由于只将工件搬入成膜室安置，就能够使成膜的部分和靶材料相对，因而优选。专利文献2中示出对这样的平面进行成膜的。然而，靶材料是通过等离子粒子那样的高能量粒子来喷镀，于是有变成靶粒子而直进飞翔的倾向，所以在不和靶材料相对的成膜面上难以附着。即，相对于靶材料庇荫的凸部、凹部等难以附着。成膜面是由数个不同的面组成的时候也同样不一定附着。所以，将工件搬入成膜室，为使庇荫部分变少，或为使不同方向的成膜面尽量相对靶材料，需要用夹具等矫正并保持姿势的操作，存在成膜工作更花时间、成本变高的问题。因此，本专利技术的目的在于提供一种不论成膜用工件的形状、构造如何，一旦搬入成膜室就能够直接进入成膜动作的。用于解决问题的手段根据本专利技术，成膜用工件一般通过注塑成型来成型。在注塑成型中，如过去所知，适用固定侧模具和可动侧模具，根据需要使用镶块等。另外，也可以通过1、2次成型由不同种类的树脂来进行成型。由此，复杂形状的工件也能自动成型。这样成型成膜用工件时，将辅助部件和成膜用工件成型为一体。辅助部件的作用是将成膜用工件搬入成膜室内，安置在成膜台上时使成膜用工件的成膜面或成膜部与靶材料相对。即，辅助部件起到使成膜用工件在成膜室内倾斜规定量、浮起规定量等的位移作用，并将其保持在其位置上。通过此位移、保持作用，成膜面或成膜部将和靶材料相对。这里说的“相对”并不意味着数个成膜面或成膜部必须直角正对的意思，而是意味着朝着靶材料的方向，朝向没有庇荫的部分或者庇荫的部分变少这样的方向。如上述，将成膜用工件搬入成膜室时，成膜面和靶材料相对，所以直接起动成膜要素，开始成膜。成膜结束后，从成膜室取出，根据需要切掉辅助部件。辅助部件是从制品上切掉废弃的部分，所以成型为适合切割的构造。即，技术方案I所述的专利技术为了达到上述目的，其被构成为，通过注塑成型来成型成膜用工件时，将辅助部件和所述成膜用工件成型为一体，其中该辅助部件在将该成膜用工件搬入成膜室内而安置在成膜台上时使所述成膜用工件保持为其成膜面或成膜部和靶材料相对的规定姿势，将成型有所述辅助部件的成膜用工件搬入所述成膜室进行成膜。技术方案2所述的专利技术被构成为，通过注塑成型来成型成膜用工件时，将辅助部件和所述成膜用工件成型为一体，其中该辅助部件在将该成膜用工件搬入成膜室内而安置在成膜台上时使成膜用工件保持为其成膜面或成膜部和靶材料相对的规定姿势，将成型有所述辅助部件的成膜用工件搬入所述成膜室进行成膜，成膜后将所述辅助部件从所述成膜用工件上切掉。技术方案3所述的专利技术被构成为，在技术方案I或2所述的中，将所述辅助部件直接一体成型于所述成膜用工件的背面侧，或者一体成型于成膜用工件的补助部件上；技术方案4所述的专利技术被构成为，在技术方案I至3中任意一项所述的中，将所述辅助部件通过截面积变窄的部分一体成型于所述成膜用工件或所述补助部件上；而且技术方案5所述的专利技术被构成为，在技术方案I至4中任意一项所述的中，将所述辅助部件成型为多个棒状部件。专利技术效果如上述，根据本专利技术，由于辅助部件一体成型于成膜用工件上，所以将该成膜用工件安置在成膜室内的成膜台上时，其成膜面或成膜部和靶材料相对。因此，根据本专利技术，不论成膜用工件的形状、构造如何，一旦搬入、安置到成膜室就可以直接进入成膜动作，得到能够缩短成膜时间的效果。一般，和成膜用工件的注塑成型时间相比，成膜时间更长，但由于所花费的很长时间可以缩短，因而可以缩短具有薄膜的制品的制造周期。辅助部件作为制品碍事时就切掉，根据其他的专利技术，由于将辅助部件通过截面积被缩小的部分一体成型于成膜用工件或补助部件上，所以可以简单地切掉。另外，根据将辅助部件成型为多个棒状 部件的专利技术，辅助部件的成型材料少量就可以，切掉的作业也变容易。附图说明图1是表示根据本专利技术的实施来成膜的工件的例子的图，其中(a)是其立体图，其中(b)是图(a)中(a) — (a)处切断的剖视图，其中(c)是倾斜表示图(b)所示的工件的图，是为说明靶粒子的飞翔方向和成膜面的关系的剖视图，其中(d)是表示本专利技术的实施方式的辅助部件被一体成型的例子的图，是和图(b)相当的剖视图。图2是示意性表示本专利技术的实施所使用的成膜装置的例子的剖视图。图3是表示本专利技术其他实施方式本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种成膜方法，其特征在于，通过注塑成型来成型成膜用工件时，将辅助部件与所述成膜用工件成型为一体，其中所述辅助部件在将该成膜用工件搬入成膜室内而安置在成膜台上时将所述成膜用工件保持为所述成膜用工件的成膜面或成膜部和靶材料相对的规定姿势，将成型有所述辅助部件的成膜用工件搬入所述成膜室进行成膜。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：西田正三，
申请(专利权)人：株式会社日本制钢所，
类型：发明
国别省市：