附着有有机物薄膜的玻璃基板制造技术

本实用新型专利技术的目的在于，提供一种即使异物或污垢附着在表面上，也可容易地将其去除的附着有有机物薄膜的玻璃基板。本实用新型专利技术涉及的附着有有机物薄膜的玻璃基板，邻苯二甲酸酯附着在表面上以使玻璃基板GS表面中邻苯二甲酸酯的平均附着量为0.5ng～15ng/1cm2，且玻璃基板GS表面的任意1cm2上至少附着有0.1ng的邻苯二甲酸酯。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种附着有有机物薄膜的玻璃基板。
技术介绍
如专利文献I (日本特开2001-276759号公报)所示，在以往用于液晶显示器或等离子显示器等显示图像用机器的玻璃基板的制造工艺中，玻璃基板成形后，为了去除附着在玻璃基板表面上的玻璃的微小粉末或磨料颗粒等异物，用酸性药液或超声波等对玻璃基板表面进行清洗处理。专利文献专利文献I :日本特开2001-276759号公报
技术实现思路
但是，即使完成玻璃基板表面的清洗处理后的玻璃基板的表面为清洁度高的状态，之后在搬运或保管玻璃基板时，异物或污垢会附着在玻璃基板的表面。其结果，在利用玻璃基板制造各种机器的阶段，需要再次用药液或超声波清洗玻璃基板的表面。本技术的目的在于，提供一种即使异物或污垢附着在表面，也可容易地将其去除的附着有有机物薄膜的玻璃基板。本技术涉及的附着有有机物薄膜的玻璃基板为其表面附着有邻苯二甲酸酯的玻璃基板。该附着有有机物薄膜的玻璃基板的表面上，邻苯二甲酸酯的平均附着量为0. 5ng 15ng/lcm2,且表面的任意Icm2至少附着有0. Ing的邻苯二甲酸酯。本技术涉及的附着有有机物薄膜的玻璃基板中，邻苯二甲酸酯的分子量最佳为低于450。本技术涉及的附着有有机物薄膜的玻璃基板中，邻苯二甲酸酯最佳为邻苯二甲酸二(2-乙基己酯)。本技术涉及的附着有有机物薄膜的玻璃基板中，表面的粗糙度Ra值最佳为小于等于0. 4nm。清洗玻璃基板时，玻璃基板表面的粗糙度越小，越容易从玻璃基板的表面去除邻苯二甲酸酯。本技术涉及的附着有有机物薄膜的玻璃基板，最佳为形成有Cu系电极材料的显不装置用基板，该玻璃基板具有大于G5尺寸的表面面积,且厚度小于0. 4mm。本技术涉及的附着有有机物薄膜的玻璃基板，即使异物或污垢附着在其表面，也可容易地将其去除。依据本技术，有机EL用TFT显示器或面向高清晰液晶TFT显示器中，能够降低因玻璃粉或碎玻璃引起的表面损伤或异物附着在玻璃基板表面。因此，也可使用粘性低的配线/电极材料。例如，可使用与Al系电极或Cr、Mo电极等相比粘性低，但低电阻的Cu系电极材料。即，可扩大电极材料的选择范围，可解决大型显示器中容易出现的RC迟延问题。而且，能够提供可解决今后进一步高清晰的小型显示器中可能出现的RC迟延问题的玻璃基板。附图说明图I为涉及本实施例的玻璃板制造装置的整体结构图；图2为涉及本实施例的被膜形成装置的侧视图；图3为涉及本实施例的被膜形成装置的侧视图；图4为表示涉及实施例的样品基板的样片位置概念图；图5为涉及变形例C的玻璃基板被膜形成装置的示意图。符号说明10被膜形成装置12玻璃基板搬运装置14玻璃基板被膜形成装置14a被膜形成空间14al搬入口14a2搬出口14bI第I空气刀14b2第2空气刀14c有机物喷嘴 100玻璃板制造装置200熔解槽300澄清槽400成形装置500清洗槽GS玻璃基板具体实施方式<实施例>( I)玻璃基板制造装置的整体结构首先，参照图I对涉及本技术玻璃基板的制造方法的玻璃板制造装置100的整体结构进行说明。玻璃板制造装置100主要由熔解槽200、澄清槽300、成形装置400、清洗槽500所构成。在熔解槽200中熔化玻璃原料生成熔融玻璃。在熔解槽200中生成的熔融玻璃被送往澄清槽300。在澄清槽300中去除熔融玻璃中所包含的气泡。在澄清槽300中去除气泡后的熔融玻璃被送往成形装置400。在成形装置400中，采用溢流引下法从熔融玻璃连续形成玻璃板。在成形装置400成形的玻璃板，被切断成规定大小的玻璃基板，送往清洗槽500。在清洗槽500中进行玻璃基板表面的清洗处理等，之后，如后述，进行在玻璃基板的表面形成有机物薄膜的处理。在清洗槽500中进行清洗及表面处理的基板，作为产品上市。玻璃基板作为液晶显示器或等离子显示器等平板显示用玻璃基板使用。在清洗槽500中进行清洗玻璃基板表面的清洗工序及在清洗的玻璃基板表面形成有机物薄膜的被膜形成工序。清洗工序中，朝水平方向搬运玻璃基板的同时，朝玻璃基板的表面喷洗涤剂进行清洗，或将玻璃基板浸泡在洗涤液的状态下，通过将超声波照射在洗涤液中去除附着在玻璃基板上的异物或污垢。另外，清洗工序前，对玻璃基板的端面进行倒角加工处理。接下来，对涉及本技术玻璃基板制造方法中特色的工序，S卩、被膜形成工序进行说明。被膜形成工序是通过后述的被膜形成装置10进行。(2)被膜形成装置的结构本实施例中的被膜形成装置10，主要由玻璃基板搬运装置12、玻璃基板被膜形成装置14构成。图2及图3所示被膜形成装置10的侧视图。图3为沿图2所示的箭头III方向观察时，被膜形成装置10的侧视图。玻璃基板搬运装置12是将玻璃基板GS表面的垂直线朝向垂直方向的状态下，朝水平方向搬运玻璃基板GS的装置。本实施例中，如图2所示，玻璃基板搬运装置12为包含平行配置的多个输送棍的装置。玻璃基板被膜形成装置14为，其内部具有半筒状(图I中剖面形状为半圆)，即、隧道状被膜形成空间14的装置。玻璃基板搬运装置12设置在被膜形成空间14a的内部，使被膜形成空间14a的长度方向沿玻璃基板GS的搬运方向。玻璃基板GS被玻璃基板搬运装置12搬运的同时，通过玻璃基板被膜形成装置14的被膜形成空间14a。如图2所示，被玻璃基板搬运装置12搬运的玻璃基板GS，从搬入口 14al搬运至被膜形成空间14a的内部，并从搬出口 14a2搬出至被膜形成空间14a的外部。玻璃基板被膜形成装置14的被膜形成空间14a搬入口 14al附近，在被膜形成空间14a上部的玻璃基板被膜形成装置14的内壁面上设置有第I空气刀14bl，被膜形成空间14a的搬出口 14a2附近，在被膜形成空间14a上部的玻璃基板被膜形成装置14的内壁面上设置有第2空气刀14b2。第I空气刀14bl及第2空气刀14b2为向被玻璃基板搬运装置12搬运的玻璃基板GS表面喷射压缩空气的装置。而且，玻璃基板被膜形成装置14的搬入口 14al与搬出口 14a2之间，被膜形成空间14a上部的玻璃基板被膜形成装置14的内壁面上，沿被膜形成空间14a的长度方向设置有多个有机物喷嘴14c。有机物喷嘴14c是用雾状邻苯二甲酸酯填满被膜形成空间14a所需的装置。邻苯二甲酸酯是邻体的邻苯二甲酸和醇的酯的总称。本实施例中，最佳为分子量低于450，更佳为邻苯二甲酸二(2-乙基己酯)。另外，本实施例中，玻璃基板GS是厚度为0.4mm、G5. 5尺寸(1300mmX 1500mm)的基板。而且，玻璃基板GS的表面粗糙度Ra值为不足0. 4nm。(3)被膜形成装置的动作本实施例的被膜形成装置10中，玻璃基板GS被玻璃基板搬运装置12搬运的同时，通过被膜形成空间14a。通过被膜形成空间14a的玻璃基板GS的表面形成邻苯二甲酸酯的薄膜。下面，对玻璃基板GS的表面形成邻苯二甲酸酯薄膜的被膜形成工序进行说明。首先，玻璃基板GS被玻璃基板搬运装置12搬运的同时，在搬入口 14al，通过第I空气刀14bl在其上侧表面喷射压缩空气。根据该构成，附着在玻璃基板GS上侧表面的异物被压缩空气吹走，且被去除。接下来，玻璃基板GS从搬入口 14al至搬出口 14a2，被玻璃基板搬运本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种附着有有机物薄膜的玻璃基板，在玻璃基板表面附着有邻苯二甲酸酯，其特征在于，在所述玻璃基板表面上的所述邻苯二甲酸酯的平均附着量为0.5ng～15ng/1cm2，且所述玻璃基板表面的任意1cm2上至少附着有0.1ng的所述邻苯二甲酸酯。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：滨上耕，
申请(专利权)人：安瀚视特控股株式会社，
类型：实用新型
国别省市：