【技术实现步骤摘要】
本公开涉及到。
技术介绍
用于在屏幕上显示各种信息的图像显示器件是信息和通信时代的核心技术中的一种。这种图像显示器件已经发展得更薄、更轻和更便携，且具有高性能。实际上，平板显示器件由于其减少的重量和体积而于显示器领域中引人瞩目，而重量和体积是阴极射线管 (CRT)非常公知的缺陷。平板显示器件包括OLED (有机发光显示)器件，其通过控制有机发光层的发光量显示图像。OLED器件是在电极之间采用薄发光层的自发光显示器件。这样，OLED器件可更薄，像纸一样。这种OLED器件通过使光发出穿过封装基板来显示图像。封装基板包括多个像素，多个像素设置成矩阵形状且每一个都配置有3个颜色(即红、绿和蓝)的子像素、单元驱动阵列和有机发光阵列。为了实现各种颜色，OLED器件采用被配置成分别发出红、绿和蓝光的有机发光层。有机发光层插入到两个电极之间且用于形成有机发光二极管。OLED器件需要能更快速驱动的薄膜晶体管。为此，OLED器件使用诸如IGZO(氧化铟镓锌)膜的氧化物膜代替非晶硅膜a-Si。图I是示意性示出根据现有技术的平板显示器件的截面图。如图I中所示，平板显示器件包括配置有多个...
【技术保护点】
一种制造具有氧化物薄膜晶体管的平板显示器件的方法，该方法包括：制备限定为像素区和焊盘接触区的基板；在基板的像素区和焊盘接触区中形成栅极和链接线；在提供有栅极的基板上顺序形成栅极绝缘膜和第一透明导电材料膜，和对第一透明导电材料膜执行第一掩模工序，以在像素区内形成像素电极；在提供有像素电极的基板上形成氧化物层，和对氧化物层执行第二掩模工序，以在与栅极相对的栅极绝缘膜上形成沟道层；在提供有沟道层的基板上形成绝缘层，和对绝缘层执行第三掩模工序，以形成设置在沟道层上的蚀刻停止层和设置在将被数据线占据的焊盘接触区上的辅助蚀刻停止层；在于基板上形成蚀刻停止层之后，在基板的整个表面上形成金...
【技术特征摘要】
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