下载具有氧化物薄膜晶体管的平板显示器件及其制造方法的技术资料

文档序号:8454089

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本申请公开了一种具有氧化物薄膜晶体管的平板显示器件及其制造方法,其适合于通过当在薄膜晶体管区中形成蚀刻停止层时在焊盘接触区中的数据线下方形成辅助蚀刻停止层,来防止在形成接触孔时在数据线区中产生针孔故障。...
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