在线测定和控制铝蚀刻液中各种酸浓度的方法技术

本发明专利技术提供一种在线测定和控制铝蚀刻液中各种酸浓度的方法，通过在线取样进入自动滴定仪，利用动态pH滴定模式，通过pH电极信号的变化，找到各酸的滴定终点，然后依据滴定剂的标定结果和消耗量，计算样品中硝酸、磷酸和醋酸的含量，测定结果输入电脑主机，进而控制醋酸、硝酸和磷酸向供应槽的补充量，维持槽内铝蚀刻液中三种酸的浓度在规定范围之内。这种检测方法的相对误差低于6%，相对标准偏差低于3%，且可以随时取样，检测速度快，能及时反馈各酸的在线数据，实现铝蚀刻液中各酸浓度的有效控制，使蚀刻机台的蚀刻效果达到最佳。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及酸混合液中各种酸浓度的测定和控制方法，尤其是一种在线准确测定和控制铝蚀刻液中各种酸浓度的方法。
技术介绍
在半导体或TFT-LCD产业的铝膜(铝或铝合金薄膜)蚀刻工序中，经常会应用铝蚀刻液以形成特定的金属薄膜图案，其原理是先用溅射法等成膜方法在玻璃等基板上形成薄金属铝膜，然后以抗蚀剂等为掩膜，光罩显影图案，并用铝蚀刻液蚀刻铝金属膜，再剥离光刻胶，从而在基板上形成特定金属薄膜图案。铝(Al)具有电阻低、密度小、价格便宜的优点，但其熔点低，对各种酸等化学品的防腐蚀能力低，常常使线路变形，导致薄膜线路短路。通常加入钥(Mo)等熔点高、抗腐蚀强的金属，组成合金层。但多层合金在蚀刻工艺中，蚀刻速率和蚀刻角(taper)很难控制,需要针对具体的合金材料采取相应的优化配方及准确的浓度控制。目前，普遍应用并广泛认可的铝蚀刻液是“磷酸-硝酸-醋酸”的三酸体系。这种三酸体系的混酸溶液用于对基板进行蚀刻处理时，一方面，硝酸和磷酸会随着蚀刻反应的进行而不断消耗，另一方面，硝酸和醋酸还会随着蚀刻槽的排气而蒸发，因此，混酸溶液当中硝酸、磷酸和醋酸的浓度均会不断变化，蚀刻速度也随之变化。所以，很难本文档来自技高网...

【技术保护点】
在线测定和控制铝蚀刻液中各种酸浓度的方法，所述铝蚀刻液包含硝酸、磷酸和醋酸，铝蚀刻液盛装在供应槽内，经过连接管线进入蚀刻机台，其特征在于：设置硝酸调节槽、磷酸调节槽和醋酸调节槽，分别盛放比所述铝蚀刻液当中浓度高的相应酸液，在线引取铝蚀刻液样品进入自动滴定仪，所述自动滴定仪配有缓冲溶剂和碱性滴定剂供给机构，对引取的铝蚀刻液样品当中的硝酸、磷酸和醋酸的含量进行测定，测定结果输入电脑主机，进而控制所述醋酸调节槽、硝酸调节槽和磷酸调节槽的出料量，使这三种调节槽内贮存的高浓度酸液按需向所述供应槽内补充，维持所述供应槽内铝蚀刻液中三种酸的浓度在蚀刻工序所要求的范围之内。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈玉英，徐雅玲，黄源，尹云舰，
申请(专利权)人：杭州格林达化学有限公司，
类型：发明
国别省市：