一种新型蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统技术方案

本发明专利技术公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统，包括主隔热屏和附属隔热屏，通过复合式结构，可以大大降低晶体生长炉的维护周期，减少热场损耗，降低热场的耗材成本。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蓝宝石晶体生长炉的加工制造，尤其是一种蓝宝石晶体生长炉上的隔热屏系统。
技术介绍
目前的KY工艺蓝宝石晶体生长炉隔热屏系统多数由3部分组成，上隔热屏，侧隔热屏和底部隔热屏。而整个隔热屏系统中，承受温度最高，最易损坏的就是上隔热屏，据大量数据统计，隔热屏在整台设备的总价中所占的比例约为20%至30%，上隔热屏的更换使得蓝宝石晶体的加工成本急剧增加。同时，由于在晶体生长的过程中，原料的挥发，钨钥材料中大量的杂质挥发，使得顶部隔热屏上有大量的杂质富集，这些杂质如果不及时清理，很容易掉进坩埚中，对晶体生长极为不利，为了避免这些问题的发生，每个生长周期结束时和下个生长周期开始时需要对设备进行维护，此时需要拆掉上炉盖和上隔热屏，由于钨钥材料的特性，经过1400度以上的高温后，材料会发生二次结晶，钨钥材料的内部材料结构会发生变化，材料变的很脆，此时清理隔热屏，很容易损坏这些钨钥材料，对生产成本的控制非常不利。
技术实现思路
本专利技术所要解决的技术问题是提供一种新型蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统，维护简单方便，耗材成本低。为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案为一种新型蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统，包括主隔热屏和附属隔热屏，所述主隔热屏和附属隔热屏为两个独立的部分，可独立悬挂于上炉盖上，所述主隔热屏和附属隔热屏均使用钨钥材料通过钥杆连接成一个整体。上述一种新型蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统，其特征在于，所述主隔热屏和附属隔热屏由不超过20层钨钥板材组成，板厚O. Imm至10mm，各层之间通过波浪板控制间距，最下面的若干层为钨板，上面的若干层为钥板。上述一种新型蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统，其特征在于，所述钨钥材料纯度为 99. 95%。本专利技术的优点在于主隔热屏和附属隔热屏为两个独立的部分，可独立悬挂于上炉盖上，在每个周期对生长炉进行维护时，单独拆除附属隔热屏，进行必要的清理即可，维护简单方便。并且大大降低晶体生长炉的维护周期，减少热场损耗，降低热场的耗材成本。附图说明下面结合附图和具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。图I是蓝宝石晶体生长炉整体示意图。图2是蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统与上炉盖连接示意图。图3是波浪板示意图。具体实施例方式图I所示，蓝宝石晶体生长炉包括上炉盖1，上隔热屏2，炉壳3，下炉盖4，籽晶伺服机构，5，钨坩埚6，下发热体7，侧发热体8，侧隔热屏9和下隔热屏10组成。图2和图3所示，上隔热屏系统包括主隔热屏11和附属隔热屏12，主隔热屏11和附属隔热屏12由15层钨钥板材组成，最下面的3层至5层为钨板14，上面的7层至15层为钥板13，所有板厚均为O. Imm至10mm。主隔热屏11和附属隔热屏12通过连接钥杆16组成一个整体，两部分隔热屏通过连接钥杆16和钥螺母15固定于炉盖I上，钨板14、钥板13、连接钥杆16和钥螺母15所用的钨钥材料纯度均为99. 95%。主隔热屏11和附属隔热屏12的板间距通过波浪板17来进行控制。在进行设备维护和清理时，卸下附属隔热屏12上面的钥螺母15，然后清理附属隔热屏12即可。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统，其特征在于，包括主隔热屏和附属隔热屏，所述主隔热屏和附属隔热屏为两个独立的部分，可独立悬挂于上炉盖上，所述主隔热屏和附属隔热屏均使用钨钼材料通过钼杆连接成一个整体。

【技术特征摘要】
1.一种新型蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统，其特征在于，包括主隔热屏和附属隔热屏，所述主隔热屏和附属隔热屏为两个独立的部分，可独立悬挂于上炉盖上，所述主隔热屏和附属隔热屏均使用钨钥材料通过钥杆连接成一个整体。2.根据权利要求I所述的一种新型蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统，...

【专利技术属性】
技术研发人员：滑喜宝，
申请(专利权)人：苏州工业园区杰士通真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：