下载一种新型蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统的技术资料

文档序号:8449683

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种新型蓝宝石晶体生长炉上隔热屏系统,包括主隔热屏和附属隔热屏,通过复合式结构,可以大大降低晶体生长炉的维护周期,减少热场损耗,降低热场的耗材成本。...
该专利属于苏州工业园区杰士通真空技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州工业园区杰士通真空技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。