电荷耦合装置支架与导片机制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种电荷耦合装置支架，用于固定和调节电荷耦合装置，包括一端固定设置于导片机上的竖直杆以及沿水平方向设置的第一旋转件，所述第一旋转件的一端与所述竖直杆旋转连接，所述第一旋转件与所述竖直杆相互垂直且能够绕所述竖直杆转动，还包括沿水平方向设置的第二旋转件，所述第二旋转件的一端与所述第一旋转件的另一端旋转连接，所述调节电荷耦合装置安装于所述第二旋转件上。本实用新型专利技术通过在第一旋转件的末端增加了可沿水平方向绕其旋转的第二旋转件，通过二次旋转，使得电荷耦合装置支架的运行位置更灵活，可以有效避开操作臂的运动轨迹，进而提高了电荷耦合装置可采集信号的覆盖范围。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体制造领域，尤其涉及一种电荷耦合装置支架。
技术介绍
众所周知，导片机的作用在于通过校对器将晶圆旋转至预设的角度，进而传输到后续的工艺中，通常，为了确定其位置是否到达了预设的旋转位置，在校对器的上方设置有电荷耦合装置，将其镜头正对晶圆槽口预设的旋转位置，如果采集到了槽口，则认为晶圆旋转到了预设的角度，如果没有采集到槽口图像，则认为晶圆未被旋转到预设的角度。在现有的技术流程中，仅仅能够从电荷耦合装置中采集信号，以确定其旋转位置的正确与否，而不能对其进行反馈的控制。·同时，在现有的电荷耦合装置支架中，请参考图1，其为现有技术中的导片机的结构不意图，其中，101—竖直杆；102—旋转件；103 —电荷I禹合装置；104 —晶圆；105—校对器。所述电荷耦合装置支架包括竖直杆101与旋转件102，电荷耦合装置103安装在旋转件102上，电荷耦合装置103正对晶圆104，晶圆104安置在校对器105上旋转。在使用现有的导片机的过程中，将电荷耦合装置103的镜头位置固定之后，由于运输晶圆的操作臂需要进行运输的工作，而荷耦合装置103由于电荷耦合装置支架的旋转件102的位置较为固定，导致了电荷耦合装置支架将会影响到操作臂的正常运作。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种运行位置更灵活的电荷耦合装置支架，进而提高电荷耦合装置可采集信号的覆盖范围。为了解决这一技术问题，本技术提供了一种电荷耦合装置支架，用于固定和调节电荷耦合装置，包括一端固定设置于导片机上的竖直杆以及沿水平方向设置的第一旋转件，所述第一旋转件的一端与所述竖直杆旋转连接，所述第一旋转件与所述竖直杆相互垂直且能够绕所述竖直杆转动，还包括沿水平方向设置的第二旋转件，所述第二旋转件的一端与所述第一旋转件的另一端旋转连接，所述调节电荷耦合装置安装于所述第二旋转件上。所述调节电荷耦合装置相对于所述第二旋转件沿水平方向滑动连接。所述第二旋转件上设有若干沿水平方向设置的长条孔，所述调节电荷耦合装置通过若干螺栓组件与所述长条孔安装于所述第二旋转件上。若干所述长条孔沿竖直方向排列。 所述长条孔的数量为两个。所述第一旋转件通过设在所述竖直杆上的环形槽固定所述第一旋转件的位置。所述第一旋转件内部设有与所述环形槽匹配的环形紧固装置。所述环形紧固装置包括紧固件、第一半环以及与所述第一半环匹配的第二半环，所述第一半环与所述第二半环的开口相对，所述第一半环与所述第二半环的两端分别互相连接，其中一端通过所述紧固件连接。所述紧固件连通至所述第一旋转件的外表面。所述环形槽的数量为多个，均匀分布在所述竖直杆上。所述电荷耦合装置支架为金属材质。本技术还提供了一种导片机，包括水平设置的校对器，正对所述校对器设置的电荷耦合装置，还包括本技术提供的电荷耦合装置支架。本技术通过在第一旋转件的末端增加了可沿水平方向绕其旋转的第二旋转件，通过二次旋转，使得电荷耦合装置支架的运行位置更灵活，可以有效避开操作臂的运 动轨迹，另外，将电荷耦合装置与第二旋转件通过长条孔滑动连接，可以有助于电荷耦合装置能够在水平方向上做平移，从而提高了电荷耦合装置的活动范围，进而提高了电荷耦合装置可采集信号的覆盖范围。附图说明图I是现有技术中导片机的结构示意图；图2是本技术一实施例提供的导片机的结构示意图；图3是本技术一实施例提供的环形紧固装置的机构示意图；图中，101—竖直杆；102—旋转件；103—电荷耦合装置；104—晶圆；105—校对器；201—竖直杆；202—第一旋转件；203—第二旋转件；204—电荷耦合装置；205—长条孔；206—紧固件；207—螺钉；208—旋转轴；209—环形槽；210—晶圆；211—校对器301—第一半环；302—第二半环。具体实施方式以下将结合图2对本技术提供的电荷耦合装置支架和导片机进行详细的介绍，其仅为本技术一优选的实施例，可以认为本领域技术人员可以在不脱离本技术的精神和范围内，根据本领域的公知的常识对本技术进行润色和修改。请参考图2，本实施例提供了一种电荷耦合装置支架，用于固定和调节电荷耦合装置204，包括一端固定设置于导片机上的竖直杆201以及沿水平方向设置的第一旋转件202，所述第一旋转件202的一端与所述竖直杆201旋转连接，所述第一旋转件与所述竖直杆相互垂直且能够绕所述竖直杆201转动，所述第一旋转件202 —端设有供所述竖直杆穿过的通孔(图未示)，且通过所述通孔与所述竖直杆201旋转连接，即第一旋转件202能够通过通孔绕所述竖直杆201进行旋转，本实施例提供的电荷耦合装置支架还包括沿水平方向设置的第二旋转件203，所述第二旋转件203的一端与所述第一旋转件202的另一端旋转连接，所述调节电荷耦合装置安装于所述第二旋转件203上。在本实施例中，第一旋转件202与第二旋转件203通过旋转轴208在水平方向上进行旋转连接。本实施例通过在第一旋转件202的末端增加了可沿水平方向绕其旋转的第二旋转件203，通过二次旋转，使得电荷耦合装置支架的运行位置更灵活，可以有效避开操作臂的运动轨迹，提高了电荷耦合装置204的活动范围，进而提高了电荷耦合装置204可采集信号的覆盖范围。所述调节电荷耦合装置204相对于所述第二旋转件203沿水平方向滑动连接。所述第二旋转件203上设有若干沿水平方向设置的长条孔205，所述调节电荷耦合装置204通过若干螺栓组件与所述长条孔205安装于所述第二旋转件203上。在本实施例中，所述电荷耦合装置204通过设在所述第二旋转件203上的若干长条孔205和螺钉207与所述第二旋转件203滑动连接，所述长条孔205沿水平方向设置。将电荷耦合装置204与第二旋转件203通过长条孔205滑动连接，可以有助于电荷耦合装置204能够在水平方向上做平移，有效地提升了电荷耦合装置204的活动范围。同时，在本实施例中，请参考图2，将螺钉207穿过长条孔205，固定安装在电荷耦合装置204上，保证了耦合电荷装置204位置的稳固，同时也能实现电荷耦合装置204的水平移动。若干所述长条孔205沿竖直方向排列。所述长条孔205的数量为两个。两个长条孔205既能保证电荷耦合装置204的位置稳固，同样也能实现电荷耦合装置204的水平移 动。所述第一旋转件202通过设在所述竖直杆201上的环形槽209固定所述第一旋转件202的位置。所述第一旋转件202内部设有与所述环形槽209匹配的环形紧固装置。在本实施例中，所述环形槽209的数量为多个，均匀分布于所述竖直杆201上。请参考图3，其为本实施例提供的环形紧固装置，其仅仅为本实施例采用的技术手段，本领域的技术人员可对其进行修改，只需要满足将之与环形槽匹配连接，进而实现所述第一旋转件202与所述竖直杆201之间连接的环形紧固的作用即可。本实施例提供的环形紧固装置包括紧固件206、第一半环301与与所述第一半环301匹配的第二半环302，所述第一半环301与所述第二半环302的开口相对，所述第一半环301与所述第二半环302的两端分别互相连接，其中一端通过所述紧固件206连接。在本实施例中，所述第一半环301与第二半环302的一端固定连接，另一端通过紧固件206连接，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种电荷耦合装置支架，用于固定和调节电荷耦合装置，包括一端固定设置于导片机上的竖直杆以及沿水平方向设置的第一旋转件，所述第一旋转件的一端与所述竖直杆旋转连接，所述第一旋转件与所述竖直杆相互垂直且能够绕所述竖直杆转动，其特征在于：还包括沿水平方向设置的第二旋转件，所述第二旋转件的一端与所述第一旋转件的另一端旋转连接，所述调节电荷耦合装置安装于所述第二旋转件上。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：苏陶炯，闫晓东，严峻，关业群，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：实用新型
国别省市：