Methods and process chambers for etching low k and other dielectric plasma membranes are described. For example, the method includes modifying the portion of the low k dielectric layer by plasma process. A modified portion of the low k dielectric layer is selectively etched on an unmodified portion of the mask layer and the low k dielectric layer. An etch chamber having a plurality of chamber regions for alternately producing different plasmas is described. In an embodiment, provides the first charge coupled plasma source to produce ions to work piece flow in a mode of operation, and provides second significant ion plasma source in another mode of operation to provide reactive material flow and no flow to the work piece. The controller operates to repeat the cyclic operation mode over time to remove the cumulative amount of desired dielectric material.
【技术实现步骤摘要】
用于蚀刻低K及其它介电质膜的制程腔室本申请是申请日为“2012年10月17日”、申请号为“201280048477.6”、题为“用于蚀刻低K及其它介电质膜的制程腔室”的专利技术专利申请的分案申请。相关申请案的交叉引用本申请案主张于2011年10月27日提出申请的标题为“ProcessChamberforEtchingLowKandOtherDielectricFilms”的美国临时申请案第61/552,183号的权益,该申请案的内容在此为所有目的以引用的方式整体并入本文。
本专利技术的实施例涉及微电子元件处理领域,且尤其涉及低k介电质膜的等离子体蚀刻。
技术介绍
在半导体制造业中,低k介电质系相对于二氧化硅具有小介电常数的材料。低k介电材料实施系用于允许微电子元件的持续规模化的若干策略中的一者。在数字电路中,绝缘介电质使导电部分(例如,互连电线及晶体管)彼此分隔。随着组件的规模化且晶体管更加靠近在一起,绝缘介电质已薄化至电荷积聚并且串扰不利地影响元件效能的程度。用相同厚度的低k介电质替换二氧化硅降低寄生电容,允许更快的切换速度及更低的热耗散。然而,因为已经发现此等膜的处理(特别是此等膜的蚀刻)会损坏材料及/或致使材料不稳定或不适于元件制造,所以在低k介电质处理技术的发展中需要显著改良。附图说明本专利技术的实施例系以举例方式而非限制地图示于随附图式的诸图中,其中:图1系图示根据本专利技术的实施例的用于以单个等离子体蚀刻腔室来蚀刻低k介电质膜的多操作模式蚀刻制程的流程图;图2系根据一实施例的流程图,进一步说明蚀刻腔室如何在由图1所图示的蚀刻制程所使用的多个模式 ...
【技术保护点】
一种蚀刻低K介电质膜的方法,所述方法包括:将工作件载入蚀刻腔室中;通过用具有低能量非反应离子流轰击工作件来修改置于工作件上的低k介电质膜的顶部厚度,所述非反应离子流来自在第一腔室区域中被激发的第一源气体的电容耦合的的等离子体;选择性地在所述低k介电质膜上方蚀刻经修改的所述低k介电质膜的顶部厚度,将所述低k介电质膜通过将所述工作件暴露于反应性物质被设置在所述顶部厚度的下方,所述反应性物质由第二腔室区域中被激发的第二源气体的等离子体产生;周期性地重复修改和蚀刻二者直到满足蚀刻制程终止标准;并且自所述蚀刻腔室卸载所述工作件。
【技术特征摘要】
2011.10.27 US 61/552,183;2012.10.12 US 13/651,0741.一种蚀刻低K介电质膜的方法,所述方法包括:将工作件载入蚀刻腔室中;通过用具有低能量非反应离子流轰击工作件来修改置于工作件上的低k介电质膜的顶部厚度,所述非反应离子流来自在第一腔室区域中被激发的第一源气体的电容耦合的的等离子体;选择性地在所述低k介电质膜上方蚀刻经修改的所述低k介电质膜的顶部厚度,将所述低k介电质膜通过将所述工作件暴露于反应性物质被设置在所述顶部厚度的下方,所述反应性物质由第二腔室区域中被激发的第二源气体的等离子体产生;周期性地重复修改和蚀刻二者直到满足蚀刻制程终止标准;并且自所述蚀刻腔室卸载所述工作件。2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述低k介电质包含碳,并且其中所述修改包括降低所述低k介电质膜的所述顶部厚度中的碳含量。3.如权利要求1所述的方法,其特征在于,所述第一腔室区域在支撑所述工作件的夹盘和第一喷淋头之间,并且其中所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:D·卢博米尔斯基,S·耐马尼,E·叶,S·G·别洛斯托茨基,
申请(专利权)人:应用材料公司,
类型:发明
国别省市:美国,US
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