【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种大尺寸CZ直拉单晶炉真空泵的避震装置，包括槽钢支架和避震模块，所述的避震模块分为上避震模块和下避震模块，所述的上避震模块包括有四根圆形的聚乙烯树脂棒，用螺杆固定在所述的槽钢支架与真空泵之间，所述的下避震模块包括有四个避震橡胶垫，直接置于所述的槽钢支架与地基之间，其特征在于：所述的避震模块还包括中间避震模块，所述的中间避震模块包括有四个避震弹簧和八个固定弹簧，所述的固定弹簧每两个为一组，分为上、下固定弹簧，上、下固定弹簧的一端分别固定在所述的槽钢支架内的上、下支架的两端，每两个上、下固定弹簧之间固定一避震弹簧。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：马四海，张笑天，丁磊，马先松，马青，徐大国，
申请(专利权)人：马鞍山明鑫光能科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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