印刷电路板的检查装置制造方法及图纸

一种印刷电路板的检查装置，其照射与焊盘、抗蚀剂等的特性相对应的光来进行精度优良的检查。在印刷电路板（7）的检查装置（1）中，具备：红色LED（32），其配置于相对于摄像机（6）成为明视场照明的第一角度；第二色光源（4），其为由绿色的荧光灯进行的扩散照明；及第三色光源（5），其由配置于相对于摄像机（6）成为暗视场照明的第三角度的蓝色LED构成，使用所述第一色光源（3）～第三色光源（5）的光并由摄像机（6）拍摄印刷电路板（7）的图像，使用来自作为所述明视场照明的红色LED（32）的光产生的图像来检查焊盘表面的伤痕（71b）、凹痕（71c）、有无变色。另外，利用由来自作为绿色的扩散照明的荧光灯的光产生的图像来检查焊盘（71）的轮廓（71a）的形成状态。进而，使用来自蓝色LED即第三色光源（5）的图像来检查抗蚀剂（72）的积存、缺陷，另外，检查抗蚀剂下图案的断线、短路等。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及能够精度良好地检查形成于印刷电路板的表面的焊盘、抗蚀剂等的印刷电路板的检查装置。
技术介绍
通常，形成于印刷电路板的表面的焊盘、抗蚀剂等由摄像机取得其图像，基于该图像自动地进行检查。然而，在由这种检查装置取得印刷电路板的图像时，从相对于摄像机成正反射的方向照射光(即，明视场照明)时，在具有边缘、凹凸的部分的角部等光强烈地反射，不能顺利地检测边缘的形状。因此，通常，在取得印刷电路板的图像时，在从与相对于该摄像机成·为正反射的方向不同的方向照射光的暗视场照明中取得图像(专利文献I的第4段、专利文献2的第30段)。专利文献I :日本特表2002 - 535687号公报专利文献2 :日本特开2008 - 268141号公报
技术实现思路
然而，在这样用暗视场照明检查印刷电路板的焊盘、抗蚀剂等时，产生如下的问题。S卩，在检查印刷电路板时，检查焊盘表面的伤痕、焊盘有无凹凸、焊盘轮廓的缺陷、焊盘表面的变色、抗蚀剂的剥离、油墨积存等，但是，如上述所示用暗视场照明取得图像时，尽管对焊盘的轮廓能够某种程度正确地取得图像，但是，对于形成于焊盘的表面的伤痕等，图像变暗而不能取得鲜明的图像。另外，对于焊盘、抗蚀剂等，由于具有各自独立的颜色、反射率等，因此，优选照射与各自的特性对应的光而进行检查。于是，本专利技术的目的在于，提供一种印刷电路板的检查装置，其照射与焊盘、抗蚀剂等的特性相对应的光来精度良好地进行检查。S卩，本专利技术为了解决上述课题，提供一种印刷电路板的检查装置，其检查形成于印刷电路板的焊盘、抗蚀剂的形成状态，其中，所述印刷电路板的检查装置具备第一色光源，其配置于相对于摄像机成为明视场照明的第一角度；第二色光源，其为由荧光灯进行的扩散照明；及第三色光源，其配置于相对于摄像机成为暗视场照明的第三角度，使用所述第一色光源 第三色光源的光并由摄像机拍摄印刷电路板的图像，所述印刷电路板的检查装置具备第一检查单元，使用所述第一色光源的图像来检查焊盘表面有无损伤；第二检查单元，使用作为所述扩散照明的第二色光源的图像来检查焊盘轮廓的形成状态；及第三检查单元，使用所述第三色光源的图像来检查抗蚀剂的形成状态。据此，能够以与焊盘、抗蚀剂的特性相对应的光源的颜色、角度来取得图像，因此，能够进行与各检查区域的特性相对应的最合适的检查。另外，这种专利技术中，第三色光源设置于与相对于印刷电路板的法线沿倾斜方向设置的摄像机成锐角的方向。据此，不能取得形成于焊盘的表面的极小的伤痕、凹凸的反射光，通过取得表面粗糙度极大的抗蚀剂的积存等漫反射光，能够有效地检查抗蚀剂的形成状态。此外，将第一色光源设为红色LED光源，将所述第二色光源设为绿色光源或蓝色光源，将所述第三色光源设为与第二色光源不同的颜色的蓝色LED光源或绿色LED光源。据此，对于焊盘那样的金属表面，因红色的波长的反射率变高，所以能够取得伤痕、凹痕等的图像，另外，对于如抗蚀剂那样与绿色、蓝色相近的颜色，能够在绿色、蓝色的 暗视场照明下正确地取得表面图像。此外，在用第三检查单元检查抗蚀剂的形成状态时，也使用所述第二色光源的图像来检查图案区域。据此，对于用各色的光源不能检查的抗蚀剂的部分，可以用其它颜色的光源进行检查。具体而言，以第三色光源的图像为基准，使用规定的辉度阈值来分离基材上抗蚀剂和抗蚀剂下图案的区域，对抗蚀剂下图案的区域进行膨胀处理，检查该抗蚀剂下图案的区域的外侧的基材上抗蚀剂的涂敷状态。另外，以所述第三色光源的图像为基准，使用规定的辉度阈值来分离基材上抗蚀剂和抗蚀剂下图案的区域，对抗蚀剂下图案的区域检查有无断线、短路。专利技术效果根据本专利技术，提供一种印刷电路板的检查装置，其检查形成于印刷电路板的焊盘、抗蚀剂的形成状态，所述印刷电路板的检查装置具备第一色光源，其配置于相对于摄像机成为明视场照明的第一角度；第二色光源，其为由荧光灯进行的扩散照明；第三色光源，其配置于相对于摄像机成为暗视场照明的第三角度，使用从所述第一色光源到第三色光源的光并由摄像机拍摄印刷电路板的图像，所述印刷电路板的检查装置具备第一检查单元，使用所述第一色光源的图像来检查焊盘表面有无损伤；第二检查单元，使用作为所述扩散照明的第二色光源的图像来检查焊盘轮廓的形成状态；及第三检查单元，使用所述第三色光源的图像来检查抗蚀剂的形成状态，因此，能够进行与各检查区域的特性相对应的最适合的检查。附图说明图I是表示本专利技术一实施方式的自动检查装置的照明装置和摄像机的配置的图；图2是表示该方式的第一色光源的LED的配置状态的图；图3是表示使用该方式的各色光源所取得的焊盘的图像的图；图4是表示使用该方式的各色光源所取得的抗蚀剂的图像的图；图5是表示使用该方式的各色光源所取得的抗蚀剂下图案的图像的图；图6是该方式的功能方块图；图7是表示该方式的检查焊盘、抗蚀剂时的直方图的图；图8是表示该方式的检查焊盘的轮廓时的直方图的图；图9是表示该方式的抗蚀剂下图案的群集处理的图10是该方式的检查的流程图。具体实施例方式下面，参照附图对本专利技术的一实施方式进行说明。该实施方式的印刷电路板7的检查装置I构成为具备相对于载置于工作台的印刷电路板7照射光的照明装置2 ;接受来自该照明装置2的光即由印刷电路板7反射的反射光的摄像机6 ;根据由该摄像机6取得的图像来检查形成于印刷电路板7的表面的焊盘71、抗蚀剂72等的形成状态的第一检查单元81 第三检查单元83 (参照图6)等。而且，其特征为，关于该照明装置2，具备配置成相对于摄像机6的光轴成正反射的第一角度(B卩，成为明视场照明的角度)的具备红色LED32的第一色光源3 ;配置成与该第一角度不同的角度的绿色的荧光灯即第二色光源4 ;及配置于相对于摄像机6的光轴成锐角的方向的由蓝色LED构成的第三色光源5，通过基于该红色LED32的第一色光源3的图像来检查焊盘71的表面的伤痕71b、凹痕71c等，并且，利用绿 色的扩散照明检查焊盘71的轮廓71a等的形成状态，另外，通过基于蓝色LED的暗视场照明能够检查抗蚀剂72的形成状态等。下面，对本实施方式的检查装置I进行详细说明。首先，成为该检查对象的印刷电路板7使用未图示的搬送单元载置于工作台上，在该状态下被搬送到照明装置2、摄像机6的下方部分。而且，于是，从照明装置2同时照射各色的光，其中由印刷电路板7反射的光被摄像机6取得。在此，作为用于取得图像的摄像机6，使用由滤色器分离为RGB等多个波长的摄像机，使用由CCD元件分别受光并变换为电信号的彩色摄像机等。如图I所示，该照明装置2构成为具备由红色LED32构成的第一色光源3、由作为绿色的扩散照明的荧光灯构成的第二色光源4、由蓝色LED构成的第三色光源5。其中，如图2所示，作为第一色光源3的红色LED32以沿着细长的基板31的长度方向形成多个列(在图2中为二列)的方式配置，使各列的红色LED32的光轴的角度分别交叉。即，对于第一列的红色LED32，以沿着基板的长度方向光轴向一方的端部侧倾斜的方式进行安装，对于第二列的红色LED32，以沿着基板的长度方向光轴向另一端部侧倾斜的方式进行安装。而且，通过这样配置红色LED32，在细长的基板31的宽度方向的宽度的范围内照射来自两个方向的细的红色光。这时，从第一色光源3照射的红色的光由本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：笹井昌年，
申请(专利权)人：玛机统丽公司，
类型：
国别省市：