石墨烯制造设备及方法技术

一种石墨烯制造设备，包括：供气单元，用于供应包含碳的气体；气体加热单元，用于加热从供气单元供应的气体；沉积室，具有催化剂层的基底设置在沉积室中；进气管，用于将气体加热单元的气体引入到沉积室中。沉积室的温度被设置为低于气体加热单元的温度，从而可以扩大与在催化剂层中将要采用的催化剂金属有关的选择范围，由于高温热量对基底造成的损坏可被最小化。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本申请要求于2010年6月28日提交到韩国知识产权局的第10-2010-0061274号韩国专利申请的权益以及于2011年3月24日提交到韩国知识产权局的第10-2011-0026455号韩国专利申请的权益，所述韩国专利申请的公开内容通过引用全部包含于此。
本专利技术涉及一种石墨烯制造设备以及制造石墨烯的方法，更具体地讲，涉及一种可以经济地制造大尺寸稳定石墨烯的石墨烯制造设备以及制造石墨烯的方法。
技术介绍
通常，石墨具有二维石墨烯片的堆叠结构，所述石墨烯片为板形，并且通过以六边形连接碳原子而形成。近来，已经研究了从多个石墨烯层剥离的石墨烯片或石墨层的特性。结果，已经发现石墨烯片具有与现有的材料的特性不同的非常有用的特性。最显著的特性就是，当电子在石墨烯片中移动时，电子就像不具有重量一样流动。这意味着电子以光在真空中传播的速度(即，光速)在石墨烯片中流动。此外，还发现石墨烯片相对于电子和空穴具有异常的半整数量子霍尔效应(abnormal half-integ本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.06.28 KR 10-2010-0061274;2011.03.24 KR 10-2011.一种石墨烯制造设备，包括：
供气单元，用于供应包含碳的气体；
气体加热单元，用于加热从供气单元供应的气体；
沉积室，具有催化剂层的基底设置在沉积室中；
进气管，用于将气体加热单元的气体供应到沉积室中。
2.如权利要求1所述的石墨烯制造设备，其中，所述气体加热单元包括：
气室，具有气体在其中被加热的密封空间；
气体加热器，设置在气室中，以将热量施加给气体。
3.如权利要求2所述的石墨烯制造设备，其中，所述气体加热器是辐射
热的灯。
4.如权利要求3所述的石墨烯制造设备，其中，所述气体加热单元还包
括设置在气室中并与气体加热器相邻的石英管，将要被气体加热器加热的气
体被供应到石英管。
5.如权利要求4所述的石墨烯制造设备，其中，石英管的一端穿过气室
并连接到供气单元，石英管的另一端穿过气室并连接到所述进气管。
6.如权利要求2所述的石墨烯制造设备，其中，所述气室包括涂覆有热
解氮化硼(PBN)的石墨材料。
7.如权利要求1所述的石墨烯制造设备，还包括基底加热单元，所述基
底加热单元设置在沉积室中并将热施加到基底。
8.如权利要求7所述的石墨烯制造设备，其中，所述基底加热单元以比
气体加热单元的加热温度低的温度加热沉积室。
9.如权利要求7所述的石墨烯制造设备，其中，所述基底加热单元是辐
射热的灯。
10.如权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：元栋观，曹承旻，
申请(专利权)人：三星泰科威株式会社，
类型：
国别省市：