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一种石墨烯制造设备，包括：供气单元，用于供应包含碳的气体；气体加热单元，用于加热从供气单元供应的气体；沉积室，具有催化剂层的基底设置在沉积室中；进气管，用于将气体加热单元的气体引入到沉积室中。沉积室的温度被设置为低于气体加热单元的温度，从而...
该专利属于三星泰科威株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过三星泰科威株式会社授权不得商用。

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