【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及EL器件的制造方法，特别地，涉及用于EL器件制造过程中的气相沉积的方法和装置。
技术介绍
近年来，有机EL显示器件已开始被安装于具有各种功能的移动电话等中。有机EL显示器件具有图像质量高、能够显示影像、功耗低等的优点，因此，除了移动电话以外，还已开始被用于电视系统、数字照相机和车内显示器等中。有机EL显示器件被以如下方式制造，即与液晶显示器件同样地，在玻璃基板上形 成薄膜晶体管(TFT)阵列，在其上沉积像素电极和用作发光层的有机膜。一般通过真空沉积形成有机膜。为了制造彩色显示器件，通过具有开口的掩模在各像素位置上真空沉积红色、绿色和蓝色有机发光材料。显示器的分辨率变得越来越精细，并且，3英寸VGA显示器正投入使用。在这种情况下，像素间距为约100 μ m。因此，用于真空沉积的掩模的开口的尺寸和间距的精度被设为极闻。在气相沉积中，基板和掩模被紧密接触地放置或被以充分小于开口的尺寸的距离紧邻地放置。基板与掩模之间的长距离导致蒸镀物(evaporant)到达掩模开口缘边(rim)周围并沉积于其上，由此损害沉积图案的边缘的锐度。这也导致相邻的像素之间的颜色...
【技术保护点】
一种在基板上以矩阵形式排列的多个区段中的每一个中形成的EL器件的制造方法，该方法包括以下的步骤：通过保持于基板和与基板相对的蒸镀源之间的掩模将蒸镀物沉积于基板上，该掩模具有沿列方向的所有区段的沉积图案作为开口，其中，在一次一列地沿区段的行方向移动基板的同时重复该步骤。
【技术特征摘要】
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