有机EL设备制造装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种有机EL设备制造装置，其具有在真空腔内将蒸镀材料蒸镀到基板上的蒸发源和将所述基板和蒸镀位置进行定位的掩模罩。具有这样的蒸镀机构：在所述真空腔内内存有N（N为2以上）张基板，在用所述蒸发源蒸镀第1张的第1基板的时段中，将第N张的第N基板搬入所述真空腔内，在用所述蒸发源蒸镀第2张以后的第2基板的时段中，从所述真空腔内搬出所述第1基板；具有2个将所述基板与掩模罩进行定位的定位部，并且，具有将所述定位部的一个中的进行了所述基板和掩模罩的定位后的基板移动至蒸镀位置的移动机构。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及有机EL设备制造装置和其制造方法以及成膜装置和成膜方法，特别涉及适宜由蒸镀法制造的有机EL设备制造装置和其制造方法。
技术介绍
作为制造有机EL设备的有利方法有真空蒸镀法。随着显示设备的大型化，对有机EL设备也有大型化的要求，基板的尺寸要达到1500mmX 1850mm。一般的真空蒸镀法为了持续稳定的蒸镀，需要控制以使得从蒸发源保持一定的材料蒸发速度。使用电阻加热或感应加热等方法加热蒸镀材料进行物理蒸镀(PVC)的情况下，蒸发速度的稳定需要一定的时间。因此，不容易实现从蒸发源的材料蒸发恰似开关0N/0FF那样的控制。作为由这样的真空蒸镀法制造有机EL设备的以往技术有以下专利文献1、2。以往，在如下述专利文献的真空蒸镀室中，一张一张的放入作为处理对象的基板，进行处理。另外，在专利文献I中公开有为了缩短处理时间在真空蒸镀腔内搬入基板之前，进行定位(对位)的方法，另外，在专利文献2中公开了对基板进行垂直蒸镀的方法。另外，伴随着基板的大型化，以简单的结构进行高精度的蒸镀就对可能的基板搬送的要求越来越高。作为一般真空蒸镀法的基板搬送方法有为了从背面进行蒸镀而从背面搬送蒸镀面的背本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机EL设备制造装置，其具有在真空腔内将蒸镀材料蒸镀到基板上的蒸发源和将所述基板和蒸镀位置进行定位的掩模罩，其特征在于，具有这样的蒸镀机构：在所述真空腔内内存有N（N为2以上）张基板，在用所述蒸发源蒸镀第1张的第1基板的时段中，将第N张的第N基板搬入所述真空腔内，在用所述蒸发源蒸镀第2张以后的第2基板的时段中，从所述真空腔内搬出所述第1基板；具有2个将所述基板与掩模罩进行定位的定位部，并且，具有将在所述定位部的一个中进行了所述基板和掩模罩的定位后的基板移动至蒸镀位置的移动机构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：若林雅，韮泽信广，弓场贤治，浅田干夫，落合行雄，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：