【技术实现步骤摘要】
本专利技术是有关于一种微机电电路，尤指一种通过补偿电路补偿电容偏移的微机电电路。
技术介绍
在现有技术中，因为加速度计内的微机电差动电容与读取电路的制程变异所造成的电容变异，所以加速度计具有零G偏移，导致感应器因具有零G偏移的加速度计，产生错误的感测结果。由于加速度计的设计者无法避免加速度计具有零G偏移，因此，如何设计一个不受微机电差动电容与读取电路的制程变异影响的加速度计，成为加速度计的设计者的一个 重要课题。
技术实现思路
本专利技术的一实施例提供一种可补偿电容偏移的微机电电路。该微机电电路包含微机电差动电容、读取电路、控制电路及补偿电路。该微机电差动电容包含第一电容与第二电容；该读取电路是耦接于该微机电差动电容，用以读取该第一电容与该第二电容之间在零G情况时的差值，并根据该差值，产生输出信号；该控制电路是耦接于该读取电路，用以接收该输出信号，并产生控制信号；该补偿电路是耦接于该控制电路，用以根据该控制信号，补偿该微机电差动电容。本专利技术的还一实施例提供一种微机电电路补偿电容偏移的方法。该方法包含读取微机电差动电容中的第一电容与第二电容之间在零G情况时的差值；...
【技术保护点】
一种可补偿电容偏移的微机电电路，包含：微机电差动电容，包含第一电容与第二电容；读取电路，耦接于该微机电差动电容，用以读取该第一电容与该第二电容之间在零G情况时的差值，并根据该差值，产生输出信号；该微机电电路的特征在于还包括：控制电路，耦接于该读取电路，用以接收该输出信号，并产生控制信号；及补偿电路，耦接于该控制电路，用以根据该控制信号，补偿该微机电差动电容。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：吴家岱，
申请(专利权)人：立积电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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