下载可补偿电容偏移的微机电电路及其方法的技术资料

文档序号:8386400

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本发明公开了一种可补偿电容偏移的微机电电路及其方法。该微机电电路包含微机电差动电容、读取电路、控制电路及补偿电路。该微机电差动电容包含第一电容与第二电容;该读取电路是耦接于该微机电差动电容,用以读取该第一电容与该第二电容之间在零G情况时的差...
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