【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种物理量传感器及具备该物理量传感器的电子设备。
技术介绍
一直以来，作为物理量传感器，已知有如下的静电电容型传感器，S卩，形成可动电极通过扭转弹簧等的弹性要素而被支承在固定部上的结构，且通过可动电极根据所作用的外力等而接近或者远离固定电极，而对这些电极间的静电电容的变化进行检测，从而能够对加速度或角速度等的各种物理量进行检测。作为这样的静电电容型传感器，公开了一种超小型机械性加速度传感器，其被构成为，利用通过扭杆(扭转弹簧)而以可摆动的方式被支承在两个半导体晶片之间的中空 空间内，且根据所施加的加速度等的物理量而以跷跷板状进行摆动(位移)的摆动台(质量 部)，对垂直轴方向上的物理量进行检测(例如，参照专利文献I)。专利文献I的超小型机械性加速度传感器(以下，称为加速度传感器)为，静电电容型传感器。由此，上述加速度传感器根据下述的静电电容的公式(1)，为了提高检测灵敏度，而需要构成为，例如，使作为可动电极的摆动台和作为与摆动台对置的固定电极的第一电极之间的距离接近，以增大静电电容，从而对于摆动台的微小的位移，静电电容也相当程度地发生变化，由此即使是...
【技术保护点】
一种物理量传感器，其特征在于，具备：底基板，其上设置有第一凹部；传感器部，其被配置在所述第一凹部上，且通过在第一轴方向上延伸的支承部，而以能够在所述第一凹部的深度方向上摆动的方式被支承，所述传感器部以所述支承部为界而被划分为第一部分和第二部分，在所述第一部分以及所述第二部分上具备可动电极部，并且，与所述第一部分相比所述第二部分的质量较大，在所述第一部分以及所述第二部分中的至少一方上设置有贯穿孔，所述底基板于在俯视观察时与所述可动电极部重叠的位置处具备固定电极部，并且，于在俯视观察时与所述传感器部的顶端重叠的位置处，设置有与所述第一凹部相比较深的第二凹部。
【技术特征摘要】
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