下载物理量传感器及电子设备的技术资料

文档序号:8386401

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本发明提供一种物理量传感器及电子设备,所述物理量传感器能够提高检测灵敏度。加速度传感器具备:底基板,其上设置有第一凹部;传感器部,其被配置在第一凹部上,且通过支承部而以能够在第一凹部的深度方向上摆动的方式被支承,传感器部以支承部为界而被划分...
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