微机械加速度计小电容补偿方法技术

本发明专利技术公开了一种微机械加速度计小电容补偿电路的方法，是一种两步式小电容补偿方法，解决了在集成电路内部无法对小电容进行补偿的不足。通过这种补偿方法，可以实现在集成电路内部对aF量级电容进行准确的补偿。本发明专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：首先对加速度信号进行前级放大并部分补偿电容不匹配。由于信号放大的作用，使得电容不匹配也被放大，从而可在第二级放大部分用较大的电容来补偿较小的电容不匹配值。本发明专利技术的有益效果是，可以实现在集成电路内部实现微小电容的补偿（aF量级），从而实现微机械加速度计等电容传感器的精准匹配。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术公开了一种微机械加速度计小电容补偿电路的方法，是一种两步式小电容补偿方法，解决了在集成电路内部无法对小电容进行补偿的不足。通过这种补偿方法，可以实现在集成电路内部对aF量级电容进行准确的补偿。本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：首先对加速度信号进行前级放大并部分补偿电容不匹配。由于信号放大的作用，使得电容不匹配也被放大，从而可在第二级放大部分用较大的电容来补偿较小的电容不匹配值。本专利技术的有益效果是，可以实现在集成电路内部实现微小电容的补偿（aF量级），从而实现微机械加速度计等电容传感器的精准匹配。【专利说明】微机械加速度计小电容补偿电路
本专利技术涉及一种在微机械加速度计接口电路中实现小电容补偿的方法。
技术介绍
目前，微机械加速度计通常由三个极板组成两个或多个随加速度变化的电容。由于设计和生产过程中，会造成这些电容值的不一致，从而产生输出信号的失调。现有技术采用在加速度计上极板和中间极板或中间极板和下极板之间并联电容的方法来解决这个问题。随着微机械加速度计尺寸的不断减小，所需的补偿电容值也随之减小，目前已小过可在集成电路内部实现的最小电容值本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机械加速度计小电容补偿的方法，其特征在于，是一种两步式小电容补偿方法，解决了在集成电路内部无法对小电容进行补偿的不足；通过这种补偿方法，可以实现在集成电路内部对aF量级电容进行准确的补偿。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：江山，
申请(专利权)人：北京哲朗科技有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11