X射线分析装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够使用荧光X射线正确且迅速地进行由透射X射线装置检测出的异物的位置的元素分析的X射线分析装置。该X射线分析装置（1）具备：透射X射线检查部（10），其具有第一X射线源（12）和检测从第一X射线源透射试料（100）的透射X射线（12x）的透射X射线检测器（14）；荧光X射线检查部（20），其具有第二X射线源（22）和检测当来自第二X射线源的X射线照射试料后该试料放出的X射线（22y）的荧光X射线检测器（24）；试料台（50），其保持试料；移动机构（30），其将试料台在第一X射线源的照射位置（12R）和第二X射线源的照射位置（22R）之间相对移动；异物位置运算装置（60），其运算透射X射线检测器在试料中检测出的异物（101）的位置；移动机构控制装置（61），其控制移动机构以使由异物位置运算装置运算的异物的位置和第二X射线源的光轴（22c）一致。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种能够测定透射X射线及荧光X射线的。
技术介绍
一直以来，X射线透射成像(imaging)被用于试料中异物的检测、元素的浓度不均的检测。另一方面，X射线透射成像不能够辨识(特定)这些异物等的元素种类，所以利用荧光X射线分析进行试料的元素分析。另外，也开发有能够用I个装置实施透射X射线分析及荧光X射线分析的分析装置(专利文献I)。 然而，例如锂离子电池等正极活性材料(锂盐)是在集电体上粘贴(paste)薄层而制造，正极活性材料层的品质管理的进行如下。首先由透射X射线装置分析正极活性材料层中异物的有无。当检测出异物时，标记(marking)试料中异物的位置，在荧光X射线装置中另行设置试料以辨识异物的元素种类。专利文献I :日本特开2003-57195号公报。
技术实现思路
但是，在由透射X射线装置检测出的异物的位置标记，正确地对准此标记位置用另外的荧光X射线装置照射X射线的工作极其繁杂，有时也会产生位置偏差，分析费时费力的同时分析精度也说不上高。另外，专利文献I记载的技术是对试料的全部进行透射X射线分析及荧光X射线分析，但是并不需要对试料的异物以外的部分进行荧光X射线的元素本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种X射线分析装置，其中具备：透射X射线检查部，其具有第一X射线源和检测从所述第一X射线源透射试料的透射X射线的透射X射线检测器；荧光X射线检查部，其具有第二X射线源和检测当来自所述第二X射线源的X射线照射所述试料后该试料放出的X射线的荧光X射线检测器；试料台，其保持所述试料；移动机构，其将所述试料台在所述第一X射线源的照射位置和所述第二X射线源的照射位置之间相对移动；异物位置运算装置，其运算所述透射X射线检测器在所述试料中检测出的异物的位置；以及移动机构控制装置，其控制所述移动机构以使由所述异物位置运算装置运算的所述异物的位置和所述第二X射线源的光轴一致。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：的场吉毅，中谷林太郎，佐藤恒郎，
申请(专利权)人：精工电子纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：