X射线分析装置制造方法及图纸

技术编号:9934729 阅读:99 留言:0更新日期:2014-04-18 04:36
一种X射线分析装置,当对样品照射了X射线时,通过X射线检测器检测从该样品发出的X射线,并且具备可更换的部件,其特征在于,具有:标志,设置于所述可更换的部件中;摄影机,将所述可更换的部件和所述标志进行摄影;以及部件种类计算单元,基于由所述摄影机摄影的所述标志的图像,通过计算,特定所述可更换的部件的种类名称。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本专利技术提供一种当对样品照射了X射线时通过X射线检测器检测从该样品发出的X射线的X射线分析装置。该X射线分析装置具备可更换的部件。该X射线分析装置具有:标签,附加于可更换的部件中并且附加了表示可更换的部件的种类的符号;摄影机,将可更换的部件和标签进行摄影;以及CPU和图像认识软件,基于附加于标签的符号通过计算特定可更换的部件的种类。【专利说明】X射线分析装置
本专利技术涉及使用X射线对样品进行分析的X射线分析装置。特别是,本专利技术涉及具备可更换的部件的X射线分析装置。
技术介绍
X射线分析装置通常具有可更换的部件。作为可更换的部件,例如有,X射线管、X射线检测器、X射线光学部件、配件(附属装置)等。作为X射线光学部件,例如有,狭缝(slit)、单色仪(monochromator)、梭拉狭缝(Soller slit)、PSC (Parallel SlitCollimator:平行狭缝准直仪)、滤光器、PSA (Parallel Slit Analyzer:平行狭缝分析器)等。另外,作为配件,例如有,充填有样品的样品座、放置样品座的样品板单元、样品转换器(样品更换装置)、其它的各种附属装置。目前,已知的有以使用磁传感器识别作为可更换的部件的X射线管的种类的方式做成的X射线分析装置(例如,参照专利文献I)。另外,已知的有以使用光传感器、微动开关等识别作为可更换的部件的狭缝、单色仪、滤光器等的种类的方式做成的X射线分析装置(例如,参照专利文献2)。现有技术文献 专利文献1:日本实开平2-069750号公报; 专利文献2:日本特开2008-057989号公报。但是,在使用了传感器、微动开关等的现有的部件认识方法中,感测用标识的数量被限制。例如,只能准备最大为5bit (32种)的ID (识别符号)。为此,存在对超过了限制数量的部件无法分配识别用的ID的问题。另外,在使用了传感器、微动开关等的现有的部件认识方法中,必须使作为检查对象的部件通过通信线路连接于电路基板,为此,部件的安装位置(即部件的位置)被限定在特定位置,并且不能追加安装位置。另外,在使用了传感器、微动开关等的现有的部件认识方法中,虽然能认识部件的种类,但不能认识部件的安装位置。另外,不能进行部件被安装在纵向还是被安装在横向这样的安装方向的认识。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述的问题点而做成的专利技术,其目的在于,提供一种能增加可认识的部件的种类,并且能容易地追加认识安装于新安装位置的部件,也能认识部件的安装位置、安装方向的X射线分析装置。本专利技术所涉及的第一 X射线分析装置,当对样品照射了 X射线时,通过X射线检测器检测从该样品发出的X射线,并且具备可更换的部件,其特征在于,具有:标志,设置于所述可更换的部件中;摄影机,将所述可更换的部件和所述标志进行摄影;以及部件种类计算单元,基于由所述摄影机摄影的所述标志的图像,通过计算特定所述可更换的部件的种类名称。部件种类计算单元,例如,能通过CPU与图像认识应用软件的组合来实现。根据本专利技术所涉及的第一 X射线分析装置,由于不是使用通过通信线路传送信号的光传感器等来识别部件的种类,而是做成了通过将附加于部件、配件的标志,用摄影机摄影而得到的图像的解析来认识部件等的种类,所以,通过适当地决定标志,能增加能认识的部件的种类。另外,由于不使用传感器、通信电缆,所以不光是由通信电缆规定的特别的位置,而且能容易追加地识别安装于新安装位置的部件。另外,在现有的识别方法中需要光传感器、通信电缆,但由于在本实施方式中读取通过摄影机摄影的图像并将信息数据化,所以不需要传感器和从该传感器延伸的通信电缆。为此,能减少部件成本。另外,在现有的X射线分析装置中,为了确认系统的运转状况,在开闭门的适当地方设置了由含铅玻璃构成的视觉确认用的窗,但在本专利技术的X射线分析装置中,由于通过摄影机系统被摄影,所以变为不需要这样的窗,降低成本是可能的。本专利技术所涉及的第二 X射线分析装置,当对样品照射了 X射线时,通过X射线检测器检测从该样品发出的X射线,并且具备可更换的部件,其特征在于,具有:标志,设置于所述可更换的部件中;摄影机,将所述可更换的部件和所述标志进行摄影;以及部件位置计算单元,基于由所述摄影机摄影的所述标志的图像,通过计算,特定应安装所述可更换的部件的位置。部件位置计算单元,例如,能通过CPU与图像认识应用软件的组合来实现。根据本专利技术所涉及的第二 X射线分析装置,通过使应安装可更换的部件的位置的信息包含在标志中,也能认识可更换的部件,例如光学部件、配件的位置。另外,在现有的X射线分析装置中,为了确认系统的运转状况,在开闭门的适当地方设置了由含铅玻璃构成的视觉确认用的窗,但在本专利技术的X射线分析装置中,由于通过摄影机系统被摄影,所以变为不需要这样的窗,降低成本是可能的。在本专利技术所涉及的X射线分析装置中,能使所述标志为以下的任一个,即为:(I)附加于所述可更换的部件中已附加的标签中的符号、(2)所述可更换的部件本身的形状、(3)附加于所述可更换的部件中的颜色、(4)附加于所述可更换的部件中的标签的颜色、(5)直接记载于所述可更换的部件中的符号、或者(6)通过雕刻直接记载于所述可更换的部件中的符号。上述标签是附加于部件的张贴物、印刷物的通称,表示必要的标志。将标签附加于部件的方法有各种各样,例如,可考虑粘贴、缝贴、向部件的直接印刷,向部件的直接烧粘坐寸ο在本专利技术所涉及的X射线分析装置中,所述可更换的部件,例如能为狭缝、单色仪等这样的X射线光学部件,样品座、其它的配件。本专利技术所涉及的X射线分析装置,还能具有:图案,能识别相互正交的2方向;以及部件方向计算单元,基于该图案通过计算特定所述可更换的部件的方向。部件方向计算单元,例如,能通过CPU与图像认识应用软件的组合来实现。在本专利技术所涉及的X射线分析装置中,能识别所述相互正交的2方向的图案能为长方形的框的图案。本专利技术所涉及的X射线分析装置,能具有:部件距离计算单元,计算从所述摄影机的摄影图像内的基准点到所述可更换的部件的特定点的距离。部件距离计算单元,例如能通过CPU与图像认识应用软件的组合来实现。所述的“摄影机的摄影图像内的基准点”能为该摄影图像内的任意的点。例如,该基准点,有时能为作为对所述样品照射X射线的区域的中心的样品中心,有时作为用于调整样品的上下位置的配件的Z工作台上的特定点。在为Z工作台上的特定点的情况下,例如,在Z工作台上的所希望的位置粘贴标签的同时,能将该标签内设定的特定点作为Z工作台的特定点。在本专利技术所涉及的X射线分析装置中,在所述可更换的部件中能附加长方形的框,能将该可更换的部件的特定点设为该长方形的框的对角线的交点。根据该结构,变为能容易地特定可更换的部件的特定点。此外,作为特定点的决定方法除了设为对角线的交点的方法之外能采用其它的任意的决定方法。例如,设为长方形的框的角部的点也可以,基于长方形之外的其它的形状决定特定点也可以。本专利技术所涉及的X射线分析装置中,所述可更换的部件能具有:拥有直线性的长度的标志或拥有平面性的宽度的标志,进而还能具有:部件的Z位置计算单元,计算拥有所述直线性的长度的标志的长度的变化或拥有所述平面性的宽度的标志的面积的变化,并本文档来自技高网
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X射线分析装置

【技术保护点】
一种X射线分析装置,当对样品照射了X射线时,通过X射线检测器检测从该样品发出的X射线,并且具备可更换的部件,其特征在于,具有:标志,设置于所述可更换的部件中;摄影机,将所述可更换的部件和所述标志进行摄影;以及部件种类计算单元,基于由所述摄影机摄影的所述标志的图像,通过计算,特定所述可更换的部件的种类名称。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:大原孝夫若佐谷贤治小泽哲也西邦夫
申请(专利权)人:株式会社理学
类型:发明
国别省市:

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