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X射线分析装置及方法制造方法及图纸
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文档序号:8386328
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本发明提供一种能够使用荧光X射线正确且迅速地进行由透射X射线装置检测出的异物的位置的元素分析的X射线分析装置。该X射线分析装置(1)具备:透射X射线检查部(10),其具有第一X射线源(12)和检测从第一X射线源透射试料(100)的透射X射线...
该专利属于精工电子纳米科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过精工电子纳米科技有限公司授权不得商用。
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