透射X射线分析装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种透射X射线分析装置及方法，能够在使用TDI传感器检测试料的透射X射线像之际，容易且大范围地调节TDI传感器的累加级数。本透射X射线分析装置（1）检测对既定的扫描方向（L）上相对移动的试料（100）的透射X射线像进行检测，具备：时间延迟积分式的TDI传感器（14），以2维状具备多个读取将由来于透射X射线像的图像光电转换而生成的电荷的摄像元件，该TDI传感器在扫描方向上多级排列线性传感器（14a~14h），该线性传感器中摄像元件沿与扫描方向垂直的方向排列，将积累在一个线性传感器中的电荷转移到邻接的下一个线性传感器；遮蔽装置（21），配置于TDI传感器和试料之间，沿扫描方向前进后退而遮蔽入射到TDI传感器的图像的一部分；遮蔽装置位置控制装置（60），控制遮蔽装置的位置以遮蔽既定级数的线性传感器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种使用时间延迟积分(TDI)式的传感器而能够测定试料的透射X射线的透射X射线分析装置及方法。
技术介绍
以往，X射线透射成像被用于试料中的异物的检测、元素的浓度不均的检测。作为这样的X射线透射成像的方法，为人所知的方法是，将试料的透射X射线通过荧光板等转换为突光，使用摄像元件(电荷稱合元件；CCD (Charge Coupled Devices))检测该突光。并且，作为使用CCD进行的检测方法，有使用将多个摄像元件沿一个方向排列的线性传感器，对试料进行扫描不断取得线状的图像而得到试料的2维图像的方法。 然而，当试料在扫描方向的移动速度变快时，线性传感器的电荷积累时间变短，线性传感器的灵敏度低时S/N比将会降低。出于这样的原因，利用将多个线性传感器沿扫描方向并排，并将积累在一个线性传感器中的电荷转移到邻接的下一个线性传感器的TDI(Time Delay and Integration :时间延迟积分)传感器。TDI传感器中，第I级的线性传感器中积累的电荷被转移到第2级的线性传感器，在第2级的传感器中，将从第I级的线性传感器转移的电荷和自身感光而积累的电荷相加后转移到第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种透射X射线分析装置，对既定的扫描方向上相对移动的试料的透射X射线像进行检测，其中具备：时间延迟积分式的TDI传感器，以2维状具备多个读取将由来于所述透射X射线像的图像光电转换而生成的电荷的摄像元件，该TDI传感器在所述扫描方向上多级排列线性传感器，该线性传感器中所述摄像元件沿与所述扫描方向垂直的方向排列，将积累在一个线性传感器中的电荷转移到邻接的下一个线性传感器；遮蔽装置，配置于所述TDI传感器和所述试料之间，沿扫描方向前进后退而遮蔽入射到所述TDI传感器的所述图像的一部分；以及遮蔽装置位置控制装置，控制所述遮蔽装置的位置以遮蔽既定级数的所述线性传感器。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：的场吉毅，
申请(专利权)人：精工电子纳米科技有限公司，
类型：发明
国别省市：