一种基于周期性纳米介质颗粒的生物传感器及其制备方法技术

技术编号:8386306 阅读:186 留言:0更新日期:2013-03-07 06:04
本发明专利技术涉及一种基于周期性纳米介质颗粒的生物传感器及其制备方法。所述生物传感器为表面等离子体共振生物传感器,其包括衬底、贵金属薄膜和周期性排列的多个纳米介质颗粒,所述贵金属薄膜设置于衬底上,所述周期性排列的多个纳米介质颗粒设置于贵金属薄膜上;所述多个纳米介质颗粒呈二维阵列式周期性排列,所述周期性排列的多个纳米介质颗粒用于提供激发表面等离子体所需的波矢匹配。本发明专利技术基于周期性纳米介质颗粒的生物传感器能够克服传统生物传感器体积庞大的缺点,提供激发表面等离子体所需的波矢匹配,并且所有的制作工艺同标准的半导体工艺兼容,制作工艺简单,体积较小且易于集成。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种生物传感器,尤其涉及。
技术介绍
表面等离子体是一种在金属和介质界面上传播的电磁波,由入射光场与金属表面电子相互作用产生。表面等离子体的共振条件对金属表面介质的折 射率微小变化非常敏感。表面等离子体共振生物传感器是表征生物分子相互作用的主要工具。表面等离子体共振生物传感器的基本原理是通过记录表面等离子体共振角或共振波长的变化,来实现对表面待测分析物折射率的检测。与其它类型的生物传感器相比,基于表面等离子体共振的生物传感器通过检测样本折射率的改变来识别样本,不需要荧光标签或者其他标签,能够对生物样品进行原位、无损且无标记的检测,因此表面等离子体生物传感器是无污染的高灵敏度生物传感器。目前基于表面等离子体的生物传感器一般采用Kretschmann棱镜结构,P偏振光经过棱镜以一定角度入射到棱镜与金属膜的界面。对于一定的入射角度和光波长,棱镜提供入射电磁波和表面等离子体之间的波矢匹配。然而,Kretschmann棱镜结构体积庞大,不易集成和携带。
技术实现思路
本专利技术针对目前基于表面等离子体的生物传感器采用的Kretschmann棱镜结构存在的上述不足,提供一种基于周期性本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基于周期性纳米介质颗粒的生物传感器,其特征在于,所述生物传感器为表面等离子体共振生物传感器,其包括衬底、贵金属薄膜和周期性排列的多个纳米介质颗粒,所述贵金属薄膜设置于衬底上,所述周期性排列的多个纳米介质颗粒设置于贵金属薄膜上;所述多个纳米介质颗粒呈二维阵列式周期性排列,所述周期性排列的多个纳米介质颗粒用于提供激发表面等离子体所需的波矢匹配。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:李海亮史丽娜朱效立李冬梅谢常青刘明
申请(专利权)人:中国科学院微电子研究所
类型:发明
国别省市:

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