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本发明涉及一种基于周期性纳米介质颗粒的生物传感器及其制备方法。所述生物传感器为表面等离子体共振生物传感器，其包括衬底、贵金属薄膜和周期性排列的多个纳米介质颗粒，所述贵金属薄膜设置于衬底上，所述周期性排列的多个纳米介质颗粒设置于贵金属薄膜上；...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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