【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及湿制程，更具体地，涉及湿制程中对残留在器件上的碱性溶液的处理。
技术介绍
湿制程中，扩散前的清洗(下称前清洗)和扩散后的清洗(下称后清洗)都涉及利用碱性溶液清洗器件。以太阳电池为例，对晶体硅的处理就包括前清洗和后清洗。前清洗的制绒，目的在于去除硅片表面机械损伤层；清除表面的油污和金属杂质；减少光的反射、增强硅片对太阳光的吸收，提高光生电流密度，从而提高太阳电池的转换效率。简单地说，制绒就是利用低浓度碱溶液对晶体硅在不同晶体取向上具有不同腐蚀速率的各向异性腐蚀特性，在硅片表面腐蚀，进而形成角锥体密布的表面形貌。经过制绒处理的硅片，如不能在其进入后续酸洗工艺之前，将其表面吹干，则一方面会造成化学品的串槽，另一方面由于碱容易结晶的物理特性，容易在硅片上形成大量色斑或小白条。同样地，后清洗过程中，如不能对硅片上的碱性物质进行较好处理，会出现类似问题。目前，一般是通过风刀来吹干硅片上的碱性残留物。风刀一般包括刀管、进气口、以及出气口。压缩空气由进气口进入风刀管，再由出气口吹到硅片上，从而吹干残留在硅片上的碱性溶液。但是，这种常规的借助压缩空气通过风刀吹干碱性...
【技术保护点】
一种在湿制程中利用风刀去除器件上的碱性溶液的方法，所述方法包括将压缩空气送入风刀，由风刀向器件排出空气，其特征在于，在所述压缩空气进入风刀之前，处理所述压缩空气使其到达预设温度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：高琦，蔡淘璞，唐伟荣，赵玉林，
申请(专利权)人：无锡尚德太阳能电力有限公司，
类型：发明
国别省市：
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