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本发明提供一种在湿制程中利用风刀去除器件上的碱性溶液的方法。所述方法包括在将压缩空气送入风刀之前，处理所述压缩空气使其到达预设温度，其中所述风刀向器件排出空气以有效去除器件上的碱性溶液。本发明还提供相应的设备。根据本发明，风刀可以在更长的时...
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