一种IPMC 驱动器的选择性镀工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种IPMC驱动器的选择性镀工艺，其特征在于，包括（1）基底材料的预处理：（2）根据驱动器的使用要求，在步骤（1）预处理后的离子交换膜上制作非施镀区隔离施镀区；非施镀区要求在后续工序中不被镀上电极，采取掩膜法实现，线宽较大时可直接用耐高温的电镀胶带覆盖使被阻隔处不能施镀；线宽较小时用电镀胶带制作相反的覆盖层暴露阻隔线，通过生成氯化银沉淀来隔离不同电极区域；（3）采用浸泡还原镀在施镀区上沉积电极层，制作铂、钯、银或铜金属电极；或者铂-钯复合电极、银-铜复合电极。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种IPMC (离子聚合物-金属复合材料)驱动器的选择性施镀方法，采用电镀胶带或者通过浸泡生成氯化银作为非施镀区域的掩膜，该施镀方法简单高效，可以制造出具有复杂形状的驱动器，以满足复杂的驱动功能。
技术介绍
离子聚合物-金属复合材料(IPMC)具有质量轻、柔韧性好、反应迅速和传感-致动的双向可逆功能，可用于制作产生大变形的驱动器等机电换能器件以取代传统的压电陶瓷，是近二十年来崛起且具有极大应用潜力的新型智能材料。目前制作分段、多向，组合变形等多功能IPMC材料驱动器时，通常会根据 复杂驱动功能需要，在同一块膜材基体上制作多个彼此电隔离的非施镀区域用于分别加电驱动。已有技术中有采用激光切害lJ (文献Yoshihiro Nakabo, ToshiharuMukai, Kinji Asaka.Bio-mimetic soft robots with artificial muscles.Proc. of SPIE，2004，5648:132-144)和电火花切割隔离电极方法(文献JonathanRossiter,Toshiharu Mukai.Electrostatic 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种IPMC驱动器的选择性镀工艺，其特征在于，包括以下步骤：（1）基底材料的预处理：以离子交换膜作为基底材料，将该离子交换膜进行糙化后置于60℃的环境下超声清洗，去除表面颗粒，然后分别酸洗和去离子水煮洗；（2）根据驱动器的使用要求，在步骤（1）预处理后的离子交换膜上制作非施镀区隔离施镀区；非施镀区要求在后续工序中不被镀上电极，采取掩膜法实现，包括两种可选择方法：①直接用电镀胶带制作非施镀区的覆盖层，然后进行步骤（3）的浸泡还原镀；②预处理后的离子交换膜先在硝酸银溶液中浸泡，然后用电镀胶带制作施镀区的覆盖层，裸露非施镀区，在HCl溶液中浸泡，直到在非施镀区上反应生成稳定的不导电氯化银沉淀；揭下施...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈花玲，朱子才，罗斌，王永泉，王延杰，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：