硅烷的生产方法技术

本发明专利技术公开了一种硅烷的生产方法，包括以下步骤：将三氯氢硅用预热器进行加热到70至90度；将经过加热的三氯氢硅送入反应精馏塔的第一反应区域，三氯氢硅在第一反应区域发生第一步催化歧化反应生成二氯二氢硅与四氯化硅；第一反应区域生成的四氯化硅进入反应精馏塔的提馏段，进行分离提纯后从塔釜排出；第一反应区域生成的二氯二氢硅上升到反应精馏塔的第二反应区域发生第二步催化歧化反应生成三氯氢硅与硅烷；第二反应区域生成的三氯氢硅回流入第一反应区域与经过预热器加热的三氯氢硅混合，继续发生第一步催化歧化反应；第二反应区域生成的硅烷上升进入反应精馏塔的精馏段，进行分离提纯后从反应精馏塔的塔顶排出，即得到硅烷。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术实施例涉及一种化工产品的生产方法，具体涉及一种。
技术介绍
硅烷的结构为SiH4,也称甲硅烷、四氢化硅，在常温常压下为恶臭无色气体，在空气或卤素气体中发生爆炸性燃烧。硅烷用途十分广泛，纯度99. 9%至99. 99%称为工业级硅烷，主要用于玻璃工业特种玻璃的生产，纯度99. 999%以上成为电子级硅烷，主要用途为特大或超大规模集成电路、芯片等电子行业；平板显示器；非晶硅薄膜太阳能电池行业；高纯多晶硅生长；制备氮化硅、碳化硅微粉等。高纯硅烷主要集中在美国REC GROUP，占全球的80%，其他主要生产厂家有美国MEMC公司、德国瓦克公司、日本小松公司等。娃烧的主要生产工艺有三种娃镁合金法(日本小松公司技术)，四氟化娃法(美国MEMC公司技术)，氯硅烷歧化法(即UCC法，美国REC公司技术)。·硅镁合金法主要包括三个反应步骤Si+2Mg — Mg2Si (真空或保护气氛)Mg2Si+4NH4Cl — SiH4+2MgCl2+4NH3 (低温液氨内反应)MgCl2+4NH3 — MgCl2 6NH3 (络合物)硅镁合金法的主要优点为历史悠久，工艺流程简单，间歇生产；其缺点在本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种硅烷的生产方法，其特征在于，包括以下步骤：将三氯氢硅用预热器进行加热到70至90度；将经过加热的三氯氢硅送入反应精馏塔的第一反应区域，三氯氢硅在第一反应区域发生第一步催化歧化反应生成二氯二氢硅与四氯化硅；第一反应区域生成的四氯化硅进入反应精馏塔的提馏段，进行分离提纯后从塔釜排出；第一反应区域生成的二氯二氢硅上升到反应精馏塔的第二反应区域发生第二步催化歧化反应生成三氯氢硅与硅烷；第二反应区域生成的三氯氢硅回流入第一反应区域与经过预热器加热的三氯氢硅混合，继续发生第一步催化歧化反应；第二反应区域生成的硅烷上升进入反应精馏塔的精馏段，进行分离提纯后从反应精馏塔的塔顶排出，即得到硅烷；所述反应精馏...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：覃攀，王维，郑卫国，钟乾，
申请(专利权)人：覃攀，
类型：发明
国别省市：