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下载硅烷的生产方法的技术资料

文档序号:8383002

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本发明公开了一种硅烷的生产方法,包括以下步骤:将三氯氢硅用预热器进行加热到70至90度;将经过加热的三氯氢硅送入反应精馏塔的第一反应区域,三氯氢硅在第一反应区域发生第一步催化歧化反应生成二氯二氢硅与四氯化硅;第一反应区域生成的四氯化硅进入反...
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