【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及使基板反转的基板反转装置、基板操作方法以及处理基板的基板处理装置。基板例如包括半导体晶片、液晶显示装置用基板、等离子显示器用基板、FED (FieldEmission Display :场发射型显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板等。
技术介绍
在半导体装置、液晶显示装置等的制造工序中，使用处理半导体晶片、液晶显示装置用玻璃基板等基板的基板处理装置。例如美国专利申请公开号 US2008/0156357A1记载的基板处理装置具有反转单元，该反转单元通过使基板围绕水平轴线进行旋转，来使基板反转。反转单元包括被支撑为水平的固定板；与固定板相向的可动板；使可动板沿着上下方向平行移动的缸体；使固定板以及可动板围绕水平轴线旋转的旋转驱动装置。在使基板进行反转时，搬入至固定板和可动板之间的基板通过安装在固定板上的多个支撑销被固定板支撑。然后，通过缸体使可动板下降，可动板接近固定板。由此，通过安装在固定板上的多个支撑销和安装在可动板上的多个支撑销，上下夹着被固定板支撑的基板。然后，通过旋转驱动装置使固定板以...
【技术保护点】
一种基板反转装置，其特征在于，具有：多个第一下引导件，分别具有朝向铅垂延伸的基准线向斜下方倾斜的第一下倾斜部，通过使多个上述第一下倾斜部与基板的周缘部相接触，来将上述基板支撑为水平的姿势，多个第一上引导件，分别具有朝向上述基准线向斜上方倾斜的第一上倾斜部，通过在多个上述第一下倾斜部和上述基板的周缘部相接触的位置的上方，使多个上述第一上倾斜部与上述基板的周缘部相接触，来使多个上述第一上引导件借助与多个上述第一下引导件的协同动作来夹持上述基板，引导件移动机构，使多个上述第一上引导件水平移动，并使多个上述第一下引导件水平移动，引导件旋转单元，通过使多个上述第一上引导件以及多个上述...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：村元僚，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：
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