基板反转装置及基板操作方法以及基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术的基板反转装置具有：多个第一下引导件，通过第一下倾斜部和基板的周缘部的接触，将基板支撑为水平姿势；多个第一上引导件，通过第一上倾斜部和基板的周缘部的接触，来与多个第一下引导件协同动作地夹持基板；引导件移动机构，使多个第一上引导件以及第一下引导件水平移动；引导件旋转单元，通过使多个第一上引导件以及第一下引导件围绕水平延伸的反转轴线旋转，来使基板进行反转。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及使基板反转的基板反转装置、基板操作方法以及处理基板的基板处理装置。基板例如包括半导体晶片、液晶显示装置用基板、等离子显示器用基板、FED (FieldEmission Display :场发射型显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩模用基板、陶瓷基板、太阳能电池用基板等。
技术介绍
在半导体装置、液晶显示装置等的制造工序中，使用处理半导体晶片、液晶显示装置用玻璃基板等基板的基板处理装置。例如美国专利申请公开号 US2008/0156357A1记载的基板处理装置具有反转单元，该反转单元通过使基板围绕水平轴线进行旋转，来使基板反转。反转单元包括被支撑为水平的固定板；与固定板相向的可动板；使可动板沿着上下方向平行移动的缸体；使固定板以及可动板围绕水平轴线旋转的旋转驱动装置。在使基板进行反转时，搬入至固定板和可动板之间的基板通过安装在固定板上的多个支撑销被固定板支撑。然后，通过缸体使可动板下降，可动板接近固定板。由此，通过安装在固定板上的多个支撑销和安装在可动板上的多个支撑销，上下夹着被固定板支撑的基板。然后，通过旋转驱动装置使固定板以及可动板围绕水平轴线旋转，被固定板以及可动板夹持的基板进行反转。US2008/0156357A1记载的反转单元，由于可动板上下移动，因此需要在可动板的上下确保可动板移动用的空间。因此，反转单元的高度增加，反转单元会大型化。
技术实现思路
本专利技术的一个实施方式提供能够抑制或者防止大型化的基板反转装置及基板操作方法。而且，本专利技术的一个实施方式提供具有能够抑制或者防止大型化的基板反转装置的基板处理装置。本专利技术的一实施方式的基板反转装置，具有多个第一下引导件，分别具有朝向铅垂延伸的基准线向斜下方倾斜的第一下倾斜部，通过使多个上述第一下倾斜部与基板的周缘部相接触，来将上述基板支撑为水平的姿势；多个第一上引导件，各自具有朝向上述基准线向斜上方倾斜的第一上倾斜部，通过在多个上述第一下倾斜部和上述基板的周缘部相接触的位置的上方，使多个上述第一上倾斜部与上述基板的周缘部相接触，来使多个上述第一上引导件借助与上述多个第一下引导件的协同动作来夹持上述基板；引导件移动机构，使多个上述第一上引导件水平移动，并使多个上述第一下引导件水平移动；引导件旋转单元，通过使多个上述第一上引导件以及多个上述第一下引导件围绕水平延伸的反转轴线进行旋转，来使被多个上述第一上引导件以及多个上述第一下引导件夹持的基板反转。根据该结构，多个第一下引导件的第一下倾斜部与基板的周缘部相接触，并且在第一下倾斜部和基板的周缘部相接触的位置的上方，多个第一上引导件的第一上倾斜部与基板的周缘部相接触。由此，通过多个第一上引导件以及多个第一下引导件将基板夹持为水平的姿势。在多个第一上引导件以及多个第一下引导件夹持有基板的状态下，引导件旋转单元使多个第一上引导件以及多个第一下引导件围绕反转轴线旋转180度。由此，基板的表面的位置和基板的背面的位置被调换，基板被反转。第一下引导件的第一下倾斜部朝向铅垂延伸的基准线向斜下方倾斜。因此，多个第一下引导件能够通过使多个第一下倾斜部与基板的周缘部相接触，来将基板支撑为水平的姿势。而且，引导件移动机构能够通过使多个第一上引导件水平移动，来使多个第一上引导件退避。在多个第一上引导件退避的状态下，用于搬运基板的基板搬运机械手能够将基板载置于多个第一下引导件上，或者接收被多个第一下引导件支撑的基板。另外，由于第一上引导件的第一上倾斜部朝向基准线向斜上方倾斜，因此当引导件旋转单元使多个第一上引导件以及第一下引导件围绕反转轴线旋转180度时，第一上倾斜部从朝下的状态变为朝上的状态。在第一上倾斜部朝上的状态下，多个第一上引导件能够通过使多个第一上倾斜部与基板的周缘部相接触，来将基板支撑为水平的姿势。因此，在·第一下倾斜部朝下的状态下，基板搬运机械手能够将基板搬入多个第一上引导件，或者从多个第一上引导件搬出基板。这样，由于在各引导件上设置有相对于水平面倾斜的倾斜部，因此在第一上倾斜部以及第一下倾斜部中的某个朝下的状态，基板搬运机械手能够搬入基板以及搬出基板。而且，在通过第一上引导件或者第一下引导件将基板支撑为水平的姿势的状态下，引导件移动机构通过使被退避的多个引导件水平移动，来通过多个第一上引导件以及多个第一下引导件将基板夹持为水平的姿势。而且，由于引导件移动机构使第一上引导件以及第一下引导件水平移动，因此可以不在引导件的上下设置引导件移动用的空间。因此，与使引导件上下移动来进行夹持的结构相比，能够降低基板反转装置的高度。由此，能够抑制或者防止基板反转装置的大型化。优选本专利技术的上述实施方式的基板反转装置还具有多个保持构件，多个上述保持构件分别保持上述第一上引导件以及上述第一下引导件，并且多个上述保持构件借助上述弓I导件旋转单元围绕上述反转轴线进行旋转。根据该结构，引导件旋转单元使多个保持构件围绕反转轴线进行旋转。由于多个保持构件保持多个第一上引导件以及多个第一下引导件，因此当引导件旋转单元使多个保持构件围绕反转轴线进行旋转时，多个第一上引导件以及多个第一下引导件也围绕反转轴线进行旋转。因此，可以不用设置将多个第一上引导件以及多个第一下引导件与引导件旋转单元分别单独连接的多个构件。因此，能够抑制或者防止基板反转装置的大型化。本专利技术的上述实施方式的基板反转装置，可以具有多个旋转轴，多个上述旋转轴分别与多个上述保持构件相连接，并且多个上述旋转轴能够围绕上述反转轴线进行旋转。在该情况下，上述引导件旋转单元可以与多个上述旋转轴中的某一个相连接。根据该结构，引导件旋转单元的动力(围绕反转轴线的动力)输入至某一个旋转轴(驱动侧的旋转轴)。并且，输入至驱动侧的旋转轴的动力，通过与驱动侧的旋转轴相连接的保持构件(驱动侧的保持构件)，传送至被驱动侧的保持构件保持的引导件。因此，在通过多个引导件夹持基板的状态下，引导件旋转单元的动力，从被驱动侧的保持构件保持的引导件经由基板传递至被其他保持构件(从动侧的保持构件)保持的引导件。由此，引导件旋转单元的动力从驱动侧的保持构件传递至从动侧的保持构件，多个保持构件和多个旋转轴围绕反转轴线进行旋转。这样，由于引导件旋转单元仅与某一个旋转轴相连接，因此与引导件旋转单元与各旋转轴相连接的结构相比，能够减小基板反转装置的大小。由此，能够抑制或者防止基板反转装置的大型化。另外，在本专利技术的上述实施方式的基板反转装置中，可以使多个上述第一上引导件分别配置于多个上述第一下引导件的上方。根据该结构，由于多个第一上引导件分别配置于多个第一下引导件的上方，因此俯视时第一上引导件与第一下引导件重叠。因此，能够减小俯视时的第一上引导件以及第一下引导件的专有面积。由此，能够抑制或者防止基板反转装置的大型化。本专利技术的上述实施方式的基板反转装置还可以具有多个第二下引导件，分别具有朝向上述基准线向斜下方倾斜的第二下倾斜部，通过使多个上述第二下倾斜部，与配置在与被多个上述第一上引导件以及多个上述第一下引导件夹持的基板不同的高度上的基板的周缘部相接触，来将上述基板支撑为水平的姿势，多个第二上引导件，分别具有朝向上述基准线向斜上方倾斜的第二上倾斜部，通过在多个上述第二下倾斜部和上述基板的周缘 部相本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板反转装置，其特征在于，具有：多个第一下引导件，分别具有朝向铅垂延伸的基准线向斜下方倾斜的第一下倾斜部，通过使多个上述第一下倾斜部与基板的周缘部相接触，来将上述基板支撑为水平的姿势，多个第一上引导件，分别具有朝向上述基准线向斜上方倾斜的第一上倾斜部，通过在多个上述第一下倾斜部和上述基板的周缘部相接触的位置的上方，使多个上述第一上倾斜部与上述基板的周缘部相接触，来使多个上述第一上引导件借助与多个上述第一下引导件的协同动作来夹持上述基板，引导件移动机构，使多个上述第一上引导件水平移动，并使多个上述第一下引导件水平移动，引导件旋转单元，通过使多个上述第一上引导件以及多个上述第一下引导件围绕水平延伸的反转轴线进行旋转，来使被多个上述第一上引导件以及多个上述第一下引导件夹持的基板反转。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：村元僚，
申请(专利权)人：大日本网屏制造株式会社，
类型：发明
国别省市：