下载基板反转装置及基板操作方法以及基板处理装置的技术资料

文档序号:8382801

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本发明的基板反转装置具有:多个第一下引导件,通过第一下倾斜部和基板的周缘部的接触,将基板支撑为水平姿势;多个第一上引导件,通过第一上倾斜部和基板的周缘部的接触,来与多个第一下引导件协同动作地夹持基板;引导件移动机构,使多个第一上引导件以及第...
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