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基板反转装置及基板操作方法以及基板处理装置制造方法及图纸
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文档序号:8382801
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本发明的基板反转装置具有:多个第一下引导件,通过第一下倾斜部和基板的周缘部的接触,将基板支撑为水平姿势;多个第一上引导件,通过第一上倾斜部和基板的周缘部的接触,来与多个第一下引导件协同动作地夹持基板;引导件移动机构,使多个第一上引导件以及第...
该专利属于大日本网屏制造株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过大日本网屏制造株式会社授权不得商用。
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