一种以非导电塑料作电极加工微细结构的方法技术

本发明专利技术公开了一种以非导电塑料作电极加工微细结构的方法，属于微细加工技术领域。其特征是采用塑料微挤出成型方法获得所需尺寸形状的非导电塑料制件，然后对非导电塑料制件进行预处理、表面粗化处理和导电化处理，最后将其作为工具电极，进行电火花加工，制造出金属微结构。本方法的效果和益处是利用塑料易变形、易拉伸的特点，突破了电火花加工工具电极的尺寸和形状限制，具有工艺简单、制造成本低的优点，能够高效率、高精度地加工出深径比较大的微细结构。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微细加工
，涉及到电火花加工技术，特别涉及到。
技术介绍
随着微机械、微机电系统(MicroElectro Mechanical System, MEMS)这一门新学科的兴起，微细加工技术作为获得微机械、微机电系统的必要手段，得到了快速的发展。微细加工技术可以大幅减小产品的体积和质量，从而满足体积小、质量轻的空间要求。目前，微细加工技术主要应用于大规模和超大规模电路的集成制造。此外，采用微细加工技术制造的大量微型机械(如压力传感器、温度传感器、智能传感器等)也广泛用于汽车工业、航空航天、医疗器械、微型机器人等领域。 国内外主要的微细加工技术包括(I)光刻和化学刻蚀可以加工微小的孔洞、沟槽等结构，但只限于硅材料。(2) LIGA技术采用深度X射线光刻、微电铸成型和塑料模铸等技术相结合的一种综合型加工技术，可以进行三维立体微细加工。但是LIGA技术所需要的深层X射线辐射源价格昂贵，导致设备投资巨大，无法大范围的推广和使用。(3)微细激光加工微细激光加工是以激光作为光源对微零件进行打孔、切割和刻蚀等。但是激光加工属于热加工，在加工过程中热的影响因素极难控制。(4)微细本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种以非导电塑料作电极加工微细结构的方法，其特征包括如下步骤，?（1）非导电塑料制件的加工制备：通过塑料微挤出成型方法获得非导电塑料制件；首先将塑料原料经挤出机进行熔融塑化；然后进入微挤出模具流道成型；塑料型坯成型后，在牵引机的牵引下进入水箱冷却；同时，在模具型芯尺寸不变的情况下，改变牵引机牵引、拉伸塑料制件的速度，获得不同直径的圆柱状塑料制件；（2）非导电塑料制件的除油处理：将塑料制件浸入碳酸钠20～40g/L、磷酸钠20～50g/L、氢氧化钠10～30g/L和OP乳化剂2～5mL/L的混合溶液中，温度50℃～70℃，浸入15～20min，除去制件表面的油污，然后用去离子水冲洗；（3）非导电...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：赵丹阳，田倩倩，王敏杰，李涛，
申请(专利权)人：大连理工大学，
类型：发明
国别省市：