【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光伏设备光学检测
,特别是涉及ー种硅片外形缺陷在线检测模组。
技术介绍
在硅片的分类检测过程中,硅落、边缘破损、裂痕等均为表征产品等级的重要參数,缺陷的漏检会对后续电池加工产生致命影响。传统设备通常采用相机及LED (LightEmitting Diode,发光二极管)光源组合检测娃落。在硅片检测中,传统技术通常采用光源倾斜照明及相机垂直于硅片拍摄,这样的 组合会使光源为了达到相机成像的亮度而提高输出功率,从而导致LED光源寿命衰减。作为在线检测设备,频繁更换因为寿命折损的LED光源将是极其不方便不经济的。
技术实现思路
基于此,提供ー种成本较低、寿命较长的硅片外形缺陷在线检测模组。一种硅片外形缺陷在线检测模组,用于检测在传输带上传输的硅片,包括照射在所述娃片上的扫描光源,及扫描相机;其中扫描光源的扫描光束以与所述娃片呈锐角的入射角照射到所述娃片上,所述扫描相机固定于所述扫描光源的扫描光束在出射光峰值最大的光线路径上。在其中一个实施例中,所述扫描光源为高亮线扫描LED光源。在其中一个实施例中,所述入射角大于0度且小于等于45度。在其中一个实施例中,所述入 ...
【技术保护点】
一种硅片外形缺陷在线检测模组,用于检测在传输带上传输的硅片,其特征在于,包括照射在所述硅片上的扫描光源,及扫描相机;其中扫描光源的扫描光束以与所述硅片呈锐角的入射角照射到所述硅片上,所述扫描相机固定于所述扫描光源的扫描光束在出射光峰值最大的光线路径上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:刘夏初,苗新利,潘加永,
申请(专利权)人:库特勒自动化系统苏州有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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