一种新型盛载三氯氧磷的源瓶装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种新型盛载三氯氧磷的源瓶装置，具体包括：源瓶是由进气管、出气管、测温管以及底部的凹槽和斜面组成；源瓶底部由一个凹槽和两个具有一定倾斜角度的平面组成；凹槽的位置在进气管的正下方，凹槽的形状为圆柱、长方体或正方体；与凹槽顶部相连接的两个倾斜面与源瓶底部成一定的角度，且两者之间为实心填充；进气管和测温管在同一直线上。本实用新型专利技术的有益效果是有利于三氯氧磷集中利用、明显减少浪费，有利于降低生产成本。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶硅太阳能电池制造领域，具体地涉及到一种新型盛载三氯氧磷的源瓶装置。
技术介绍
在晶硅太阳能电池的制备工艺中，通过扩散工艺制备PN结，是晶硅太阳能电池的核心。目前，在扩散制结工序中，大多数采用三氯氧磷液态源扩散法制结，该方法制备的PN结均匀性好，不受硅片尺寸的影响，适用于规模化生产。采用三氯氧磷液态源扩散法制结的过程中使用到的传统盛载三氯氧磷的源瓶，基本构造是由出气管、进气管、测温管和源瓶组成；源瓶的底部为两端略带弧度、底部为平面的结构。上述的源瓶设计在实际生产使用过程中会导致源瓶用至距离底部2. 5cm左右处需要换源。此时，源瓶内部剩余的三氯氧磷的体积占到源瓶总容量的23%左右，存在严重浪费现象。因此，解决在生产过程中由于源瓶的设计导致的三氯氧磷浪费，使源瓶中的三氯氧磷充分利用，达到节约生产成本的目的。
技术实现思路
本技术的目的是设计一种新型的盛载三氯氧磷的源瓶，减少在生产过程中由于源瓶设计引起的不必要的浪费，达到降低生产成本的目的。本技术涉及的一种新型盛载三氯氧磷源瓶的设计方案是源瓶是由进气管、出气管、测温管以及底部的凹槽和斜面组成；源瓶底部由一个凹槽和两个具有一定倾斜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种新型盛载三氯氧磷的源瓶装置，用于晶硅太阳能电池制造过程中扩散制结工序，其特征在于所述的源瓶装置是由进气管、出气管、测温管以及底部的凹槽和斜面组成。

【技术特征摘要】
1.一种新型盛载三氯氧磷的源瓶装置，用于晶硅太阳能电池制造过程中扩散制结工序，其特征在于所述的源瓶装置是由进气管、出气管、测温管以及底部的凹槽和斜面组成。2.根据权利要求I所述的一种新型盛载三氯氧磷的源瓶装置，其特征在于源瓶底部的凹槽的位置在进气管的正下方，凹...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆惠田，
申请(专利权)人：浙江鸿禧光伏科技股份有限公司，
类型：实用新型
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