【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及利用周期调制加热和连续激光探测的光热反射测量技术，尤其涉及一种。
技术介绍
薄膜材料已广泛地运用于微电子、光电子、微制造等领域，而这些微/纳器件在工作时将产生极高的热流密度，热堆积将直接影响到此类器件的工作效率以及可靠性。解决上述微/纳器件散热问题极为迫切，这需要对组成上述微/纳器件的薄膜材料热物理性质，尤其是热导率、界面热阻等进行准确表征，以便揭示其热输运机理。3ω法为常用的薄膜材料热物性测量方法，但是其需要在待测样品上焊接金属薄片/丝，属于有损检测技术。超短脉冲激光抽运探测法为一种新型的固体热物性参数测量方法。图I为现有技 术测量固体热物性参数的光学系统的光路示意图。如图I所示，该光学系统包括激光器I输出脉冲激光；第一波片2( 二分之一波片)使激光偏振方向旋转；第一分光器件3将激光束分成偏振方向互相垂直的两束；电光调制器4对激光束调制；电光调制器驱动器5为电光调制器4发送调制信号；第一反射镜6接收并反射激光束；激光束通过第一聚焦透镜7、倍频晶体8和第二聚焦透镜9，产生二次谐波；第一滤光片10滤除非相干光；扩束器11将激光束直径扩大；第二反射镜1...
【技术保护点】
一种测量固体热物性参数的光学系统，其特征在于，包括：加热激光产生组件、探测激光产生组件、合束元件、分光元件、加热激光接收组件、样品测试组件和探测激光接收组件；其中，由加热激光产生组件产生频率调制的连续偏振的加热激光，由探测激光产生组件产生连续偏振的探测激光；该加热激光和探测激光经过合束元件后合束为位于A平面的合束激光；该合束激光入射分光元件，偏振方向在A平面的成分透射至样品测试组件，偏振方向垂直于该水平面的成分反射至加热激光接收组件；偏振方向在A平面的合束光成分经由样品测试组件后，照射至被测试样品表面；偏振方向在A平面的合束光成分中的加热激光将被测样品加热，加热后的被测样品...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：邱琳，徐先锋，唐大伟，祝捷，布文峰，
申请(专利权)人：中国科学院工程热物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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