一种用于薄膜杨氏模量测量的系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于薄膜杨氏模量测量的系统，包括：脉冲激光器，所述脉冲激光器发射脉冲激光经第一扩束镜准直扩束后，被3:7分光镜分成7/10脉冲激光和3/10脉冲激光，所述7/10脉冲激光经柱面聚焦透镜聚焦在被测样品的表面，激发产生声表面波信号；所述声表面波信号经过第一检测通道和/或第二检测通道转换为电信号，并通过示波器显示后被传输至计算机进行处理。该系统不仅拥有压电激光声表面波检测技术信号幅度大、在扰动大的测试环境中适用性强等优点，也继承了差分共焦激光声表面波检测技术快速、准确、非接触测量及信噪比高等优势，适用性更强，适用范围更广。同时，基于差分共焦激光声表面波检测技术高测量带宽的优点，大大提高了测量分辨率。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及利用激光超声技术测量薄膜的杨氏模量领域，尤其涉及一种用于薄膜杨氏模量测量的系统。
技术介绍
近年来，激光超声技术在薄膜杨氏模量等机械特性测量方面得到了广泛关注，在激光超声系统中，声表面波探测技术层出不穷。目前的技术中，基于PVDF (聚偏氟乙烯)薄膜的压电激光声表面波检测技术是广为采用的技术，PVDF压电薄膜声阻抗匹配特性好，响应带宽大，力电转换灵敏度高等优点，使得基于PVDF薄膜的压电激光声表面波检测系统具有远高于一般光学检测系统的测量带宽(高达120MHz)，且具有优异的测量稳定性(测量不确定度误差在±1%)。基于光偏转敏感检测的差分共焦激光声表面波检测技术是光学非接触式声表面波检测中较快速、准确和精确度较高的测量技术，在该技术中光偏转灵敏度检测保证了系统具有高灵敏度及快速响应的能力；测量带宽被拓展到300MHz，提高了系统对高频声表面波信号的分辨能力；采用差分式的信号取样，消除了探测器光功率波动、环境空气对流及电子噪声等共模干扰，提高了系统的信噪比；而且，该技术为无损伤、非接触式测量，特别适用于集成电路等要求的超净测试环境。以上所述的两种声表面波检测技术，虽然在薄膜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于薄膜杨氏模量测量的系统，包括：脉冲激光器（1），所述脉冲激光器（1）发射脉冲激光经第一扩束镜（2）准直扩束后，被3:7分光镜（3）分成7/10脉冲激光和3/10脉冲激光，所述7/10脉冲激光经柱面聚焦透镜（4）聚焦在被测样品（5）的表面，激发产生声表面波信号；其特征在于，所述声表面波信号经过第一检测通道和/或第二检测通道转换为电信号，并通过示波器（27）显示后被传输至计算机（28）进行处理。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：丹特·多伦雷，杨斐，陈琨，路子沫，李艳宁，傅星，胡小唐，
申请(专利权)人：天津大学，
类型：实用新型
国别省市：