【技术实现步骤摘要】
XY θ精密对位平台
本技术属于对位平台领域，特别涉及一种可以达成360°回动、薄形化、高精密度的XY θ精密对位平台。
技术介绍
在各种液晶面板制造、检查设备、半导体制造、检查设置、网印设备或印刷电路板制造、检查设备中，必须使用对位平台进行对位移动等程序，而为了提高精密度，除X轴、Y 轴的移动外，除以伸缩元件达成XY轴的移动外，更应具备θ角移动功能，方能达成高精密度的要求；但已知市售同性质产品中，号称具有Θ角回动功能，实则仅以XXY轴或XYY轴结构间接达成，显然并不是真正的Θ角回动；而其回动角度亦受到限制，例如普遍均只能达到±5°范围内；且元件复杂，层叠组合后达到6层的厚度，不符合设备元件轻薄化的要求； 更进一步指出，已知结构在运转时更存在有干涉现象，实在无法达到绝对精密度；如何改善上述缺点，实有其必要性。
技术实现思路
有鉴于此，本案新型的本技术的目的在于提供一种XY Θ精密对位平台。为达到上述目的，本技术提供一种XY Θ精密对位平台，所述XY Θ精密对位平台包括一 XY轴移动平台，包括一 X轴移动平台，其底部设有至少一滑轨元件；一 Y轴移动平台，其底部设有至...
【技术保护点】
一种XYθ精密对位平台，其特征在于，所述XYθ精密对位平台包括：一XY轴移动平台，包括：一X轴移动平台，其底部设有至少一滑轨元件；一Y轴移动平台，其底部设有至少一滑轨元件；所述X轴移动平台及Y轴移动平台为层叠组合；一θ角回动平台，包括:一平台；一圆弧形齿排，其设于所述平台底部； 一滑轨元件，其结合至少一滑块；一蜗杆结构，其与所述圆弧形齿排啮合；所述滑轨元件及蜗杆结构对应设于所述XY轴移动平台的承载面；所述θ角回动平台层叠设置于所述XY轴移动平台的承载面，且所述滑块对应结合于所述平台的底部。
【技术特征摘要】
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