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本实用新型涉及一种XYθ精密对位平台，包括：一XY轴移动平台，包括：一X轴移动平台，其底部设有至少一滑轨元件；一Y轴移动平台，其底部设有至少一滑轨元件；所述X轴移动平台及Y轴移动平台为层叠组合；一θ角回动平台，包括:一平台；一圆弧形齿排，其...
该专利属于吴茂祥所有，仅供学习研究参考，未经过吴茂祥授权不得商用。

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