与互补金属氧化物半导体工艺兼容的热电堆红外探测器制造技术

本发明专利技术涉及一种与互补金属氧化物半导体工艺兼容的热电堆红外探测器，属于红外探测器的技术领域。按照本发明专利技术提供的技术方案，所述与互补金属氧化物半导体工艺兼容的热电堆红外探测器，包括承载衬底；所述承载衬底上设有隔离支撑层，所述隔离支撑层上方对应隔离槽的两侧设置对称分布的热电堆，所述热电堆通过隔离槽相隔离，且所述隔离槽两侧的热电堆电连接成一体；所述热电堆上覆盖有第四介质层，第四介质层上设有红外吸收层，红外吸收层通过热传导支撑柱支撑在第四介质层上，红外吸收层通过热传导支撑柱与热电堆间形成绝热腔，所述绝热腔与隔离槽相连通。本发明专利技术结构简单紧凑，体积小，占空因子高，制造工艺简单，适应性好。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种红外探测器，尤其是一种与互补金属氧化物半导体工艺兼容的热电堆红外探测器，属于红外探测器的

技术介绍
Herschel在19世纪初发现了红外福射，随着时代进步，红外技术在红外制导、红外成像以及预警等军事领域，以及在红外报警、红外测温以及检测等民用领域发挥了越来越重要的作用，从而也推动了作为红外装置心脏的红外探测器的发展。 红外探测技术主要分为制冷型和非制冷型，制冷型红外探测器又称光子红外探测器，其虽然探测性能较好，但是必须使用特殊而昂贵的冷却设备，尺寸大，难以小型化，制造成本和功耗高，主要应用于军事。非制冷型红外探测器又称为热红外探测器，由于其探测红外原理不同主要分为热电堆型、热释电型以及热敏电阻型三类，非制冷型红外探测器发展迅速，应用广泛，是当今研究热点之一。其中热电堆红外探测器是最早发展的一种红外探测器，其工作原理基于Seebeck效应。传统热电堆红外探测器结构主要有以下缺点1、尺寸偏大为了提高响应率，将连接红外吸收区与硅基底的热电偶对的长度加长，造成器件面积增大，使其阵列化出现一定困难；2、占空因子较低为了提高冷热端温差，一些吸收面必须被刻蚀掉来制作本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种与互补金属氧化物半导体工艺兼容的热电堆红外探测器，包括承载衬底（3）；其特征是：所述承载衬底（3）上设有隔离支撑层（27），所述隔离支撑层（27）上方对应隔离槽（17）的两侧设置对称分布的热电堆，所述热电堆通过隔离槽（17）相隔离，且所述隔离槽（17）两侧的热电堆电连接成一体；所述热电堆上覆盖有第四介质层（18），第四介质层（18）上设有红外吸收层（1），红外吸收层（1）通过热传导支撑柱（20）支撑在第四介质层（18）上，红外吸收层（1）通过热传导支撑柱（20）与热电堆间形成绝热腔（8），所述绝热腔（8）与隔离槽（17）相连通。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：孙蕾，王玮冰，
申请(专利权)人：江苏物联网研究发展中心，
类型：发明
国别省市：